《電子技術(shù)應(yīng)用》
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潔凈室中顆粒物傳感器的應(yīng)用

2022-05-13
來(lái)源:工采網(wǎng)
關(guān)鍵詞: 傳感器 潔凈室 半導(dǎo)體

潔凈室,也叫無(wú)塵室或者清靜室,是具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)建材料與裝置的房間,是控制污染及交叉污染的基礎(chǔ),其中特定標(biāo)準(zhǔn)操作程序以控制空氣懸浮微粒、浮游菌濃度,以達(dá)到適當(dāng)?shù)臐崈舳燃?jí)別。潔凈室的主要作用是對(duì)物料進(jìn)行控制,產(chǎn)品接觸的空氣包含溫度、濕度、使制品具有良好的生產(chǎn)、儲(chǔ)存空間。

潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對(duì)環(huán)境的要求,促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國(guó)內(nèi)曾統(tǒng)計(jì)過(guò),在無(wú)潔凈級(jí)別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲(chǔ)存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能,醫(yī)藥等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。但各行業(yè)對(duì)潔凈室的潔凈程度要求是不一致的。

1、半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的潔凈室要求

半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和高精度恒溫恒濕生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。

集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān),而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此,集成電路的高速發(fā)展,不僅對(duì)空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求,而且也需進(jìn)一步控制粒子束;同時(shí),對(duì)于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境中無(wú)塵車間的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。

2、精密機(jī)械和精細(xì)化工產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室要求

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,許多工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)加工對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的無(wú)塵車間中很塵濃度提出極高的要求,這就需要其生產(chǎn)環(huán)境中具有一定的空氣潔凈等級(jí)和控制生產(chǎn)過(guò)程所需各類相關(guān)物質(zhì)的供應(yīng)質(zhì)量。例如,在膠片生產(chǎn)中,膠片若受到了塵埃的污染,將會(huì)發(fā)生乳劑氧化,活性減弱,PH值變化等,從而影響膠片的感光性能。

3、醫(yī)藥產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室無(wú)塵車間要求

藥品是用于預(yù)防、治療疾病和恢復(fù)、調(diào)整機(jī)體功能的特殊商品,它的質(zhì)量直接關(guān)系到人的健康和安危。如果一些藥品在制造過(guò)程中受到微生物、塵粒等污染或交叉污染,可能會(huì)產(chǎn)生預(yù)料不到的疾病和危害。

潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)通常是根據(jù)懸浮顆粒物濃度的唯一指標(biāo)劃分其等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。而顆粒物傳感器是一種用于測(cè)量潔凈室中單位體積內(nèi)塵埃粒子的數(shù)量和粒徑分布的儀器。它具有測(cè)試速度快、動(dòng)態(tài)分布寬度、沒(méi)有人為影響等優(yōu)點(diǎn),是用于噴漆、環(huán)保產(chǎn)品等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門的主要監(jiān)測(cè)儀器。

在精密機(jī)械生產(chǎn)車間,對(duì)車間清潔度要求是非常高的。顆粒物傳感器是幾乎每個(gè)精密電子車間必不可少的設(shè)備。如果在我們的車間中有這樣一種監(jiān)測(cè)顆粒濃度的儀器,那么我們?cè)谵k公室時(shí)就可以輕松了解車間中塵埃情況,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的智能體驗(yàn)。

例如,當(dāng)我們檢測(cè)到車間顆粒物濃度過(guò)高時(shí),可以及時(shí)通知相關(guān)車間負(fù)責(zé)人,采取必要措施將顆粒物濃度降低到安全標(biāo)準(zhǔn)以下,非常有利為產(chǎn)品的安全生產(chǎn),為用戶提供可靠、優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品。工采網(wǎng)代理的英國(guó)alphasense顆粒物檢測(cè)器PM2.5傳感器 灰塵傳感器OPC-R2是繼OPC-R1之后alphasense推出的一款小尺寸的顆粒物檢測(cè)器,可以檢測(cè)到PM1、PM2.5、PM10。設(shè)備流速比OPC-N2和OPC-N3高、功耗更低,是一款性價(jià)比極高的產(chǎn)品。英國(guó)Alphasense PM2.5傳感器/大氣粒子監(jiān)測(cè)器OPC-N3是OPC-N2的升級(jí)產(chǎn)品,外觀尺寸與OPC-N2一樣,量程范圍達(dá)到0.38-40um,能測(cè)量到高達(dá) 2,000 μg/m3;通道數(shù)量擴(kuò)展到24個(gè),同時(shí)板載溫度和濕度傳感器;可應(yīng)用于重度污染環(huán)境的監(jiān)測(cè);另外日本figaro 激光顆粒物傳感器PM2.5傳感器TF-LP01是利用散射原理對(duì)空氣中粉塵顆粒進(jìn)行檢測(cè)的小型模組,具備體積小、檢測(cè)精度高、重復(fù)性好、一致性好、實(shí)時(shí)響應(yīng)可連續(xù)采集、抗干擾能力強(qiáng)、采用超靜音風(fēng)扇,傳感器出廠100%檢測(cè)和標(biāo)定等優(yōu)點(diǎn)。




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