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郭超群：敞開式離子源和微型氣泵集成的微型針-柱放電結構芯片設計與實驗設計

2016-08-09
關鍵詞： 微納米
內容簡介：郭超群：敞開式離子源和微型氣泵集成的微型針-柱放電結構芯片設計與實驗設計
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