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光子探測器件相關技術介紹
摘要: 在諸多光子探測器件中占據(jù)主導地位的是高性能半導體光電二極管、紅外探測器與固體成像器件。
關鍵詞: 光子 探測器 CCD
Abstract:
Key words :

        在諸多光子探測器件中占據(jù)主導地位的是高性能半導體光電二極管、紅外探測器與固體成像器件。

        (1) 半導體光電二極管

        屬于這類器件的主要有pin型光電二極管和雪崩型光電二極管(apd)。目前以ingaas制作的pin與apd已作為高靈敏度、高響應度的光電探測器在光纖通信、光纖傳感等領域廣泛使用,并占據(jù)了主導地位。近年來,pin器件的性能不斷提高,其脈沖響應已達到ps量級。apd是一種具有增益能力的探測器,具有很高的靈敏度,因此更被看好。現(xiàn)在已對各種apd結構,如sapd、sam-apd、sagm-apd以及量子阱apd等展開了深入研究。其中sam-apd被認為是一種成功的結構形式,sagm-apd是對sam-apd的進一步完善,并已開始實用化。量子阱apd是一種新穎結構并具有發(fā)展前景的光電探測器,目前也已趨于實用化。 
 
        (2) 紅外探測器

        確切講,這里的紅外探測器件是指光纖通信波段(850nm~1550nm)以外的中遠紅外探測器。它們主要應用于紅外成象、制導、遙感、跟蹤以及空間通信與光電對抗等技術應用領域。已研制和開發(fā)的各種紅外探測器件,其中以hgcdte為材料的單元、多元及焦平面陣列探測器件受到廣泛重視。 在3μm~ 5μm 波段,hgcdte 與 insb的焦平面陣列探測器件互為競爭對象,各有長處。在 8μm ~ 1 4μm 波段,則以hgcdte焦平面陣列探測器件為發(fā)展重點。提高陣列單元數(shù)目、探索新材料和新結構也是發(fā)展紅外探測器件的重要任務。 

        (3) 固體成像器件 

        這里所謂固體成像器件,實質上可稱之是一種“光子圖像探測器”,目前,電荷耦合器件(ccd)已在固體成像器件中占據(jù)主導地位。ccd具有尺寸小、低電壓、長壽命以及電子自掃描等一系列優(yōu)點,加之無圖形扭折、易于信息處理,因此在實現(xiàn)各種高速圖像處理等方面得到廣泛應用。目前ccd發(fā)展的特點是像素超高速集成和進一步微型化。因此ccd正在取代包括廣播電視在內的電視攝像管,其競爭力是十分可觀的。

        自ccd問世以來,新結構、新工藝以及更靈活的芯片拼接技術不斷涌現(xiàn)。值得關注的器件有幀內線轉移(fit)ccd、虛像(vp)ccd、電荷引動器件(cpd)、電荷掃描器件(csd)以及極有發(fā)展前景的靜電感應晶體管(sit)圖形傳感器等等。以軍事應用為背景的微光ccd(包括iccd、 tdiccd) 及新一代固體紅外熱攝像陣列ccd(ircid)等發(fā)展也十分迅速。這些器件已有相當部分進入實用階段。

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