激光制造

　　激光器是生產薄膜太陽能電池模塊的重要工具，特別是高性能超短脈沖激光器，其能提供持續時間僅幾個皮秒的超短脈沖，這不但能幫助制造商提高產量，而且還能優化加工工藝。

　　目前，在針對解決未來能源問題的討論中，光伏能源作為一種可再生能源扮演著重要角色。技術進步是實現電能平價消費的一個至關重要的前提條件，比如通過技術進步將光伏發電的成本降低到接近傳統能源的成本。

　　目前，晶硅太陽能電池是光伏市場中的主導產品，其轉換效率最高達20%。在晶硅太陽能電池的制造過程中，激光器主要用于晶圓切割和邊緣絕緣。

　　在激光邊緣絕緣過程中，激光輔助摻雜(doping)工藝用于防止電池正面與背面之間的短路而引起的功率損失。越來越多的激光器被用于激光輔助摻雜工藝中，以改善載流子的遷移率，特別是對于電極的接觸指而言尤為如此。在過去的幾年中，薄膜太陽能電池取得了巨大的發展，業界專家們更是希望其未來能在光伏市場中占據大約20%的市場份額。

　　薄膜太陽能電池中所采用的膜層只有幾微米厚，因此其在生產中便能節約大量材料。在薄膜太陽能電池的制造過程中，激光發揮著決定性的作用。在整個制造過程中，激光將電池結構化并連接成模塊，并對模塊進行相應的刻蝕處理，進而保證所需要的絕緣性能。

圖1 激光技術

　　成熟的激光刻線工藝

　　在非晶硅或碲化鎘（CdTe）薄膜太陽能電池模塊的生產過程中，導電薄膜和光伏薄膜被沉積在大面積玻璃基板上。每層薄膜被沉積后，均利用激光對膜層進行刻蝕，并使各個電池之間自動串聯起來。這樣，就能夠根據電池寬度設定電池和模塊的電流。精確的選擇性非接觸式激光加工，能夠可靠地集成到薄膜太陽能電池模塊的生產線中。人們通常所說的刻線（見圖2）就是單個激光脈沖刻蝕的一個連貫過程，該脈沖聚焦后光斑大小為30~80μm，因此在P1層刻線中，要采用脈寬為幾十納秒（10~80ns）的脈沖光對玻璃基底進行刻蝕。

圖2 激光通過玻璃刻蝕不同層的薄膜，從而使薄膜電池互相隔離并形成串聯結構

　　透明導電氧化物（TCO，如ZnO和SnO2）通常使用近紅外激光和相對較高的脈沖重復頻率進行加工。通常需要的脈沖重復頻率要超過100kHz。較高的脈沖重復頻率能夠確保切口處的徹底清潔。

　　根據材料對激光的吸收系數的不同，需要為特定的加工工藝選擇合適的激光波長。綠激光對于硅的破壞閾值遠低于其對TCO的破壞閾值，因此綠激光可以安全透過TCO膜層后，對吸收層進行刻線（見表1）。P2層和P3層的刻線機理與P1層相同。P2層、P3層相對于P1層的工藝參數已經在上面列出。

表1 不同材料的刻蝕閾值

　　單脈沖刻線機理本身的特征對脈沖重復頻率提出了一定的限制。為了防止接觸面半導體層的脫落，加工過程中需要的典型脈沖重復頻率為35~45kHz。常用的刻蝕閾值約為2J/cm2，也就是能將25μJ的激光能量聚焦到直徑為40μm的面積上，其平均功率非常低。由于綠光激光器的平均功率均為數瓦量級，因此能夠將光束分光后進行多光束并行加工，從而進一步提高工作效率。

　　對于P1、P2和P3層的刻線應用而言，用于微加工應用的、輸出波長為1064nm和532nm的結構小巧緊湊的二極管泵浦激光器，無疑是無疑是一種理想的選擇，并且這種激光器能夠提供極高的脈沖穩定性。這類激光器的脈沖持續時間為8~ 40ns，脈沖重復頻率為1~100kHz。

圖3 用納秒激光器刻蝕鉬層產生的清晰可見的邊緣斷裂和脫落

圖4 激光在薄膜太陽能電池的制造過程中發揮著至關重要的作用

　　清除保護

　　為了防止太陽能電池模塊被腐蝕或短路，必須要在其邊緣留出大約1cm寬邊緣，用于接下來整個電池模塊的封裝。目前多使用噴砂的方法來清除這個邊緣。盡管噴砂方法的投資成本較低，但是這個過程卻會帶來磨損、砂的清除以及防塵污染方面的成本。薄膜太陽能電池模塊的生產需要潔凈的、經濟實惠的解決方案，激光加工方案無疑是最佳選擇。通過提高激光的平均功率，能夠獲得卓越的加工質量。激光加工可以實現大約50cm2/s的去除速度，甚至在30s之內就能加工完成一塊標準尺寸的太陽能電池模塊。

　　事實上，用同一個脈沖就可以清除所有的邊緣薄膜層，并且清除速率的提高與激光的平均功率密切相關。具有高平均功率和高脈沖能量的激光，可以一次性清除特定的區域。最適用這種加工應用的是采用光纖傳輸的激光器系統，其輸出方形或矩形光斑。激光經過光纖傳輸后能量分布更加均勻，從而實現清除效果的高度一致性。利用光斑的平行組合，加工效率能比采用傳統光纖提高50%以上，同時還在保證加工安全的前提下降低了脈沖重復頻率。另外，還可以與掃描振鏡結合適用，以減少加工過程中的非生產周期。當然，激光器也應提供相應的分時輸出選擇，來減少非生產時間。此外，可以采用幾個不同的工作站共享同一臺激光器的加工方案，這樣就可以做到產品的上下料時間并不影響激光器的生產效率。

　　未來的激光工藝

　　CI(G)S太陽能電池模塊制造中特殊材料的使用，對激光加工技術提出了巨大的挑戰。如果適用的基底材料為玻璃，那么鉬材料就被沉積到玻璃上。但是由于鉬具有熔點高、熱傳導性好以及高熱容等特性，導致加熱時會出現裂紋和脫落現象。由于這些缺點在用納秒激光進行加工時是無法避免的，因此激光器的使用與所獲得的加工質量密不可分。同樣，吸收層材料對熱也具有相當的敏感性，硒(Se)相對于銅(Cu)、銦(In)、鎵(Ga)等金屬材料的熔點要低，它會在低溫時就能從粘合的地方分離。這種一來，沒有了硒層的半導體就變成了合金層，導致通過長脈沖激光產生的熱量使邊緣短路。

　　皮秒激光器將為上述問題提供理想的解決方案。用超短脈沖激光去除薄膜材料，不會產生嚴重的邊緣熱影響區。波長為1030nm、515nm和343nm的高性能皮秒激光器，可應用于CI(G)S薄膜太陽能電池模塊的結構化。超短脈沖激光器將會取代機械刻劃工藝，進一步提高加工質量和加工效率。

　　激光應用前景

　　未來激光技術有望在光伏制造過程中獲得更多應用空間，如晶硅太陽能電池鈍化層的選擇性燒蝕，具有高光束質量的超短脈沖和高脈沖能量的激光特別適合這類應用。目前，市場上只有碟片式激光技術能夠滿足這個標準。碟片激光器的輸出功率可調，能實現更高的生產量，而且其輸出的超短脈沖所擁有的卓越的光束質量，能顯著提高太陽能電池的轉換效率。

　　激光技術已經在太陽能電池生產中贏得了一席天地，并且其選擇性、非接觸式的加工工藝也已經超越了其他工藝。隨著太陽能電池生產所面臨的成本壓力日趨增大，將會促使高功率、高性能激光器在大規模生產中被廣泛采用。而且，具有超短脈沖的新激光技術也將帶來新的生產工藝。未來，激光技術的進步與廣泛采用，必將大幅太陽能電池生產的每瓦成本。