《電子技術(shù)應(yīng)用》
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預(yù)計(jì)2016年Oxide TFT產(chǎn)能將超越LTPS

Oxide TFT象征更高階的平面顯示面板技術(shù),但導(dǎo)入量產(chǎn)耗時較預(yù)期為長
2013-09-10

由于高清智能手機(jī)面板這樣高分辨率平面顯示面板的穩(wěn)定增長,導(dǎo)致了對TFT(薄膜晶體管)技術(shù)的要求越來越高過于傳統(tǒng)的a-Si(非晶硅)。像素密度的增加,LCD傳輸減小和功能消耗的增大,都是對手持式裝置面板的挑戰(zhàn)。為了迎接這些挑戰(zhàn),面板生產(chǎn)商正在加大生產(chǎn)以高性能LTPS(低溫多晶硅)和Oxide TFT(金屬氧化物薄膜晶體管)兩樣技術(shù)為基礎(chǔ)的顯示器。而且,這些技術(shù)也同樣在生產(chǎn)AMOLED顯示器中使用。

隨著FPD制造商將LTPS技術(shù)往更高世代的玻璃基板移動,2016年LTPS的產(chǎn)能預(yù)計(jì)將比2013年的900萬平方米翻倍,達(dá)到1,800萬平方米。根據(jù)NPD DisplaySearch 預(yù)估,同一時期,Oxide TFT的產(chǎn)能預(yù)計(jì)將增長得更快速,從350萬平方米增長到1,900萬平方米,從而將于2016年超越LTPS。

圖一、2011-2016年LTPS和Oxide TFT背板制造的產(chǎn)能(單位:千平方米)

Source: 2013 NPD DisplaySearch TFT LCD Process Roadmap Report

盡管有如此快速的增長率,但Oxide TFT的量產(chǎn)時間將比原先的預(yù)期推遲兩年,并且還有其他關(guān)于生產(chǎn)方面的挑戰(zhàn)。根據(jù)NPD DisplaySearch最新的研究報(bào)告TFT LCD Process Roadmap Report指出,Oxide TFTs保證了高流動性,低電流泄漏,成本比LTPS TFTs更低,且具有可到任何尺寸玻璃的擴(kuò)展性,從而提高了性能,降低了LCDs和AMOLEDs的成本。但是,Oxide TFTs在量產(chǎn)方面仍然面臨著一些限制。

NPD DisplaySearch制造研究副總經(jīng)理Charles Annis表示:“盡管很多面板生產(chǎn)商在Oxide TFT開發(fā)方面取得了不錯的成果,但其中大部份仍在為順利量產(chǎn)而努力之中。以O(shè)xide TFT、為基礎(chǔ)的FPDs的穩(wěn)定量產(chǎn)需要最優(yōu)化的TFT設(shè)計(jì)、絕緣與鈍化的材質(zhì)、氧化膜沉積的均勻度、退火條件的控制及其他等等。解決一個問題通常又會帶來另一個問題。比如說,大多數(shù)面板生產(chǎn)商已經(jīng)采用了刻蝕阻擋型TFT,因?yàn)樗鼮榉€(wěn)定,但是設(shè)計(jì)卻遇到了新問題。由于TFT的通電渠道被限制了,因此必須添加更復(fù)雜的工藝程序。”

這些問題都限制了以O(shè)xide為基礎(chǔ)的FPDs量產(chǎn)化進(jìn)程。目前,夏普是提供Oxide LCDs的唯一一家生產(chǎn)商,LGD是銷售Oxide型AMOLED TVs的唯一一家公司。雖然市場領(lǐng)導(dǎo)者有所增加,但是Oxide的順利量產(chǎn)仍比預(yù)期慢。

另一方面,對于TFTs來說,LTPS是一種比較成熟的工藝。拋開高成本和復(fù)雜的工藝不談,LTPS仍將繼續(xù)成為高清智能手機(jī)顯示器領(lǐng)先的背板半導(dǎo)體材料,在平板電腦市場獲得市場份額,不論是為LCDs還是AMOLEDs。生產(chǎn)力的持續(xù)提高也意味著即使是對于AMOLED TVs,LTPS仍然是一項(xiàng)可行的技術(shù)。然而,隨著Oxide TFTs已經(jīng)成為整個FPD行業(yè)開發(fā)的焦點(diǎn),而且它也都適用于LCDs和AMOLEDs,Oxide TFT終將超越LTPS。

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