日前，中國—新加坡蘇州工業(yè)園區(qū)舉辦了MEMS傳感器產(chǎn)品交付會，蘇州納米科技發(fā)展有限公司將6英寸微納機電制造（MEMS）中試線的首個產(chǎn)品正式 交付客戶。這意味著國內(nèi)首條全開放、市場化運作的6英寸微納機電制造中試線正式運營，該中試線的投用將為我國中小MEMS企業(yè)的發(fā)展帶來福音。
據(jù)了解，蘇州6英寸微納機電制造中試線，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設(shè)，超凈場地、廠務(wù)配套設(shè)施、研發(fā)實驗室、公共服務(wù)等場地共占地 1.6萬平方米，其中超凈工藝場地占地5200平方米。該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目，也得到了工信部“工業(yè)轉(zhuǎn)型升級服務(wù)平臺項目”支持。
6英寸微納機電制造中試線的推動者、蘇州納米科技發(fā)展有限公司負責人、蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會秘書長張希軍表示：“我國中小MEMS企業(yè)發(fā) 展面臨很多困難，其中一個關(guān)鍵的難題是產(chǎn)品的工程化與中試生產(chǎn)，規(guī)模代工廠門檻較高，高校院所的實驗室工程化能力較弱或開放度不夠，產(chǎn)品的工程化中試已成 為影響中小MEMS企業(yè)規(guī)模化成長的瓶頸。中試線不僅是中小企業(yè)的創(chuàng)新平臺，更彌補了中國MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈的空白。”
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