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碳化硅(SiC)會是功率器件的終極選擇嗎?

2015-07-03

  碳化硅(SiC)是目前發展最成熟的寬禁帶半導體材料,世界各國對SiC的研究非常重視,紛紛投入大量的人力物力積極發展,美國、歐洲、日本等不僅從國家層面上制定了相應的研究規劃,而且一些國際電子業巨頭也都投入巨資發展碳化硅半導體器件。

  三大優勢

  與普通硅相比,采用碳化硅的元器件有如下特性:

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  高壓特性

  碳化硅器件是同等硅器件耐壓的10倍

  碳化硅肖特基管耐壓可達2400V。

  碳化硅場效應管耐壓可達數萬伏,且通態電阻并不很大。

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  高頻特性

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  高溫特性

  SiC器件分類

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  SiC-MOSFET

  SiC-MOSFET 是碳化硅電力電子器件研究中最受關注的器件,成果最為突出的就是美國的Cree公司和日本的ROHM公司。

  Cree公司2011 年推出首款碳化硅MOSFET,可以降低光伏逆變器的損耗,并使得其能夠在更高效率及更高功率密度下工作。2013年推出第二代碳化硅 MOSFET,現今其SiC-MOSFET產品家族成員如下:

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  ROHM公司2002年開始SiC-MOSFET的基礎實驗,2005年SiC-MOSFET樣品出貨,2010年量產。至今產品歷經三代,成功實現了由平面結構向溝槽結構的跨越。

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  ROHM公司SiC元器件發展歷程

  平面vs溝槽

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  SiC-MOSFET采用溝槽結構可最大限度地發揮SiC的特性。

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  在Si材料已經接近理論性能極限的今天,SiC功率器件因其高耐壓、低損耗、高效率等特性,一直被視為“理想器件”而備受期待。然而,相對于以往的Si材質器件,SiC功率器件在性能與成本間的平衡以及其對高工藝的需求,將成為SiC功率器件能否真正普及的關鍵。


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