《電子技術(shù)應(yīng)用》
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立足自主可控 做強集成電路制造業(yè)

2016-07-20

  在我們按照《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》,全力推進(jìn)華虹集團(tuán)集成電路制造業(yè)新發(fā)展的進(jìn)程中,習(xí)近平總書記在網(wǎng)絡(luò)安全和信息化工作座談會上的講話,為我們當(dāng)前和今后一段時期立足自主可控做強集成電路制造業(yè)進(jìn)一步指明了方向,提供了強大的方法論。

  著力解決“缺芯少魂”

  習(xí)總書記在講話中明確指出了我們當(dāng)前信息化發(fā)展中最大的差距在于核心技術(shù),要求著力解決“缺芯少魂”的問題。集成電路是信息化時代人類大腦的延伸,因而也是信息產(chǎn)業(yè)的核心。在我國電子信息產(chǎn)業(yè)從制造大國穩(wěn)步邁向制造強國的進(jìn)程中,集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展程度對其具有決定性的影響。

  20年來,華虹集團(tuán)在中央和上海的關(guān)心支持下,從引進(jìn)技術(shù)建設(shè)運營國內(nèi)第一條8英寸極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線起步,在技術(shù)上按照引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新,在規(guī)模上按照扎實穩(wěn)健的產(chǎn)業(yè)發(fā)展特點,逐步建立了8英寸和12英寸兩個制造平臺,以及一個國家級的集成電路研發(fā)中心。

  由上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司承擔(dān)的8英寸制造平臺目前有3條生產(chǎn)線,總產(chǎn)能達(dá)到每月15萬片,量產(chǎn)工藝達(dá)到了8英寸的極限90納米,每月在產(chǎn)芯片超過500種,并承擔(dān)了包括身份證芯片在內(nèi)的一系列事關(guān)國計民生的重點芯片生產(chǎn)任務(wù)。基于豐富而成熟的工藝平臺和精細(xì)化的運營管理,企業(yè)從“十二五”以來實現(xiàn)每年盈利。

  由上海華力微電子有限公司承擔(dān)的12英寸制造平臺,作為國家“909”工程升級改造項目,生產(chǎn)線于2010年開始建設(shè),2015年竣工驗收,總產(chǎn)能達(dá)每月3.5萬片。該生產(chǎn)線直接從55納米量產(chǎn)工藝起步,28納米工藝將于近期實現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)。

  華虹集團(tuán)下屬的上海集成電路研發(fā)中心于2007年被國家發(fā)改委授予國家級研發(fā)中心,目前已進(jìn)入成套工藝技術(shù)輸出期。這一企業(yè)化運作的中心建成了按量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)配置的3200平方米凈化廠房和覆蓋12英寸主要工藝模塊的中試線,在先導(dǎo)性工藝研發(fā)、國產(chǎn)裝備和材料中試驗證、校企合作的協(xié)同創(chuàng)新中心建設(shè),以及上海市集成電路高技能人才實訓(xùn)基地等方面開展了卓有成效的工作。

  支持國產(chǎn)設(shè)備和原材料

  自主可控是華虹集團(tuán)始終不懈追求的目標(biāo)。到今年年底,華虹累計申請的集成電路制造專利有望突破1萬項。

  同時,我們把支持國產(chǎn)設(shè)備和原材料作為生產(chǎn)線的重要使命。華虹集團(tuán)較早建立了針對國產(chǎn)設(shè)備和原材料的評估驗證采購機制。8英寸和12英寸兩個制造平臺均為使用國產(chǎn)設(shè)備和原材料最多的企業(yè)。其中,在12英寸產(chǎn)線中國產(chǎn)設(shè)備達(dá)到7種13臺,國產(chǎn)材料超過了10種。

  “十三五”期間,華虹集團(tuán)將按照《國家集成電路發(fā)展推進(jìn)綱要》,繼續(xù)堅持自主可控,做大集成電路制造規(guī)模,持續(xù)提升工藝技術(shù)水平。到2020年,華虹集團(tuán)的集成電路制造能力將覆蓋0.5微米到14納米各工藝技術(shù)平臺。在我國自主可控集成電路產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)中發(fā)揮好主力軍作用。主要戰(zhàn)略方向是:8英寸制造平臺將立足“More than Moore”(超越摩爾定律),在擴大規(guī)模的同時進(jìn)一步強化一系列特色工藝;12英寸制造平臺將繼續(xù)追趕摩爾定律,在充分發(fā)揮既有產(chǎn)線產(chǎn)能的同時,新建一條月產(chǎn)4萬片、工藝能力為28~14納米的12英寸生產(chǎn)線,并力爭在“十三五”期末實現(xiàn)FinFET工藝的量產(chǎn);集成電路研發(fā)中心將全面建成覆蓋主要工藝模塊的12英寸先進(jìn)工藝引導(dǎo)線,成為具有國際影響力的集成電路研發(fā)機構(gòu)。

  總書記指出“核心技術(shù)要取得突破,就要有決心、恒心、重心”。對于華虹集團(tuán)這一以集成電路制造為主業(yè)的國有產(chǎn)業(yè)集團(tuán)來說,國家在集成電路產(chǎn)業(yè)上的“痛點”就是我們主攻的方向。建設(shè)我國自主可控的集成電路產(chǎn)業(yè)體系是我們責(zé)無旁貸的歷史責(zé)任。華虹集團(tuán)將秉承“知難而進(jìn),奮發(fā)圖強”的企業(yè)精神,下定攻堅克難的決心、保持戒驕戒躁的恒心、聚焦工藝技術(shù)能級提升的重心,更加努力地承擔(dān)起國家隊的應(yīng)有職責(zé)。


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