全球領(lǐng)先的化工公司巴斯夫宣布，其位于浙江嘉興的新建電子級硫酸裝置正式投入運營，將主要服務(wù)于國內(nèi)日益增長的半導(dǎo)體制造行業(yè)。據(jù)悉，巴斯夫嘉興工廠一期可生產(chǎn)12000噸電子級硫酸，今年年底投產(chǎn)的二期項目將使產(chǎn)能翻番。

　　據(jù)介紹，在制程小于10納米時晶圓制造過程中需要經(jīng)過數(shù)百道清洗工序，巴斯夫嘉興工廠生產(chǎn)的電子級硫酸主要滿足10mm~7nm制程，將主要用于此過程中半導(dǎo)體晶片的清潔。這一裝置擁有先進的質(zhì)量分析設(shè)備和配有專用無塵室的分析實驗室，旨在滿足中國電子行業(yè)客戶的未來需求。

　　巴斯夫電子材料業(yè)務(wù)部亞太區(qū)副總裁言甯璿博士表示：“嘉興的新電子級硫酸裝置是巴斯夫在中國電子材料市場持續(xù)增長與拓展的又一重要舉措。中國已成為全球最大電子材料市場之一，而且還在不斷成長，我們很高興能夠參與這一增長勢頭。我們將更貼近客戶，為他們提供更迅捷、更高效的化學(xué)解決方案、更可靠的供應(yīng)和更穩(wěn)定的品質(zhì)。”