《電子技術(shù)應(yīng)用》
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MIT研發(fā)新方法,用特殊材料制作柔性電子

2018-10-16

今天絕大多數(shù)計算設(shè)備都是由硅制成的,后者僅次于氧氣,是地球上第二大含氧元素,以各種形式存在于巖石、粘土、沙子和土壤中。在地球上,雖然硅不是最好的半導(dǎo)體材料,但卻是最容易獲得的。因此,在傳感器、太陽能電池、計算機、智能手機等大多數(shù)電子設(shè)備中,硅都是占主導(dǎo)地位的材料。

現(xiàn)在,麻省理工學(xué)院的工程師已經(jīng)開發(fā)出一種由特殊材料制成的超薄半導(dǎo)體薄膜。他們制造了由砷化鎵、氮化鎵和氟化鋰制成的柔性薄膜,這些材料表現(xiàn)出比硅更好的性能。但是,到目前為止這些材料在功能器件的應(yīng)用中生產(chǎn)成本過高。

研究人員表示,在制造由半導(dǎo)體元件組合制成的柔性電子元件上,這項新技術(shù)提供了一種更為經(jīng)濟有效的方法,比目前的硅基器件的表現(xiàn)更好。

“我們已開辟出一條新途徑,能用許多不同于硅的材料制造柔性電子設(shè)備。”機械工程、材料科學(xué)與工程系副教授 Jeehwan Kim 表示。他希望該技術(shù)可用于制造低成本、高性能的設(shè)備,如柔性太陽能電池、可穿戴計算機和傳感器。

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10月8日,這項新技術(shù)的論文已刊登在《Nature Materials(自然材料)》期刊上。除了Kim之外,論文的合著者還包括麻省理工學(xué)院的Wei Kong、Huashan Li、 Kuan Qiao、Yunjo Kim、Kyusang Lee、Doyoon Lee、Tom Osadchy、Richard Molnar、Yang Yu、Sang-h(huán)oon Bae、Yang Shao-Horn和Jeffrey Grossman,以及來自中山大學(xué)、弗吉尼亞大學(xué)、德克薩斯大學(xué)達拉斯分校、美國海軍研究實驗室、俄亥俄州立大學(xué)和佐治亞理工學(xué)院的研究人員,并得到了美國國防高級研究計劃局、美國能源部、美國空軍實驗室、LG電子、愛茉莉太平洋集團、泛林集團和ADI公司的部分支持。

2017年,Kim及其同事采用石墨烯設(shè)計出一種制造昂貴半導(dǎo)體材料“副本”的方案。他們發(fā)現(xiàn),將石墨烯堆疊在如砷化鎵等純凈、昂貴的半導(dǎo)體晶圓材料上,當(dāng)鎵原子和砷原子流過石墨烯堆時,這些原子似乎以某種方式與下面的原子層進行交互,中間的石墨烯似乎是不可見或透明的。結(jié)果,這些原子集合到下方半導(dǎo)體晶圓精密的單晶圖案中,形成了一個精確的“副本”,并可以輕易地從石墨烯層上剝落下來。

他們將這種技術(shù)稱為“遠程外延”,提供了一種僅使用一個昂貴下層晶圓,就能制造多層砷化鎵薄膜的低成本方案。

在第一批結(jié)果報告出來后不久,該團隊就想知道這一技術(shù)是否可用于復(fù)制其他半導(dǎo)體材料。他們試圖將“遠程外延”應(yīng)用于硅和鍺這兩種廉價的半導(dǎo)體,但是他們發(fā)現(xiàn),讓這些原子從石墨烯上流過時,它們無法與各自的下層進行交互,以往“透明”的石墨烯再次變得“不透明”,阻止硅和鍺原子“看到”另一側(cè)的原子。

實際上,硅和鍺是存在于元素周期表的同一組內(nèi)的兩個元素。具體而言,這兩個元素屬于第四組,此類材料是離子中性的,沒有極性。

“這給了我們一個提示。”Kim說。該團隊推斷,也許原子只有通過某種離子電荷,才能透過石墨烯相互作用。例如,在砷化鎵的案例中,在界面上,砷具有正電荷,鎵具有負電荷。這種電荷或極性的差異,可能有助于原子通過石墨烯相互作用,就像它是透明的一樣,并復(fù)制下面的原子圖案。

“我們發(fā)現(xiàn),透過石墨烯的交互取決于原子的極性。對于最強離子鍵材料,它們甚至可以通過三層石墨烯相互作用。”Kim說。“它與兩種磁鐵的吸引方式相似,即使是一張薄紙。”

為了測試他們的假設(shè),研究人員們采用遠程外延法復(fù)制具有不同極性的半導(dǎo)體材料,從中性硅和鍺,再到輕微極化的砷化鎵,最后是高度極化的氟化鋰(一種比硅更好、更昂貴的半導(dǎo)體)。

他們發(fā)現(xiàn),極化程度越深,原子相互作用越強,甚至在某些情況下能夠通過多片石墨烯。他們能生產(chǎn)的每種薄膜都是柔性的,只有幾十到幾百納米厚。

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研究小組發(fā)現(xiàn),原子相互作用的物質(zhì)也很重要。除了石墨烯,他們實驗了六方氮化硼(HBN)中間層,一種類似于石墨烯原子圖案的材料,并具有類似特氟龍的品質(zhì),在復(fù)制時,堆疊在其上方的材料可以被很容易地剝離。

然而,六方氮化硼是由電性相反的硼和氮原子組成,其在材料本身內(nèi)就產(chǎn)生了極性。在他們的實驗中,研究人員發(fā)現(xiàn),流過六方氮化硼的任何原子,即使它們本身具有高度極性,也不能完全與它們下面的晶圓相互作用。這也表明,原子和中間材料的極性,都決定了原子是否將相互作用并形成原始半導(dǎo)體晶圓的副本。

“現(xiàn)在,我們真正理解了原子通過石墨烯相互作用的規(guī)則。”Kim說。

他表示,通過這種新的規(guī)則,研究人員現(xiàn)在可以簡單地查看周期表,并選擇兩個相反電荷的元素。一旦他們通過相同的元素獲取或制造主晶圓,他們就可以使用該團隊的遠程外延技術(shù)來制作原始晶圓的多層精確副本。

“人們大多使用硅片,因為它們很便宜。”Kim說。“現(xiàn)在,我們的技術(shù)開辟了一種使用更高性能非硅材料的方法。你可以購買一個昂貴的晶圓,并一遍又一遍地復(fù)制它,不斷重復(fù)使用。現(xiàn)在,這項技術(shù)的材料庫已經(jīng)完全擴展。”

Kim設(shè)想,遠程外延現(xiàn)在可以用以前那些被認(rèn)為特殊的半導(dǎo)體材料來制成超薄柔性膜,只要這些材料是由具有一定極性的原子制成的。這種超薄薄膜可以一層一層的堆疊在一起,以生產(chǎn)微小、靈活、多功能的設(shè)備,如可穿戴傳感器、柔性太陽能電池,甚至在遙遠的未來,“手機可以貼到你的皮膚上。”

“在智能城市,我們希望在任何地方放置小型計算機,這就需要由更好材料制成的低功耗、高靈敏的計算和傳感設(shè)備。”Kim說。“這項研究為這些設(shè)備開辟了道路。”


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