加利福尼亞州米爾皮塔斯市，2020年9月22日–今天， KLA公司（納斯達克股票代碼：KLAC） 宣布推出Kronos? 1190晶圓級封裝檢測系統(tǒng)、ICOS? F160XP芯片分揀和檢測系統(tǒng)以及下一代的ICOS? T3 / T7系列封裝集成電路（IC）組件檢測及量測系統(tǒng)。這些新系統(tǒng)具有更高的靈敏度和產(chǎn)量，并包含下一代增強算法，旨在應對特征尺寸縮小、3D結(jié)構(gòu)和異構(gòu)集成所帶來的復雜性，從而在封裝階段推進半導體元件制造。憑借更可靠地實施這些先進封裝技術(shù)，KLA的客戶將無需依賴縮小硅設(shè)計節(jié)點就能夠提高產(chǎn)品性能。該產(chǎn)品組合的性能提升將提供良率和質(zhì)量保證，幫助客戶進一步拓展其技術(shù)和成本藍圖。
圖：KLA新型Kronos?1190晶圓檢測系統(tǒng)、ICOS?F160XP芯片分揀與檢測系統(tǒng)以及下一代ICOS?T3/T7系列元器件檢測系統(tǒng)都旨在解決各類IC封裝挑戰(zhàn)。
“隨著封裝技術(shù)的不斷創(chuàng)新與發(fā)展，對于從晶圓級別到元件級別的各個封裝制造環(huán)節(jié)，所有步驟的制程控制都變得更加關(guān)鍵。我們新推出的產(chǎn)品可幫助半導體制造商、晶圓廠以及外包半導體和測試（OSAT）供應商在日益復雜多樣的封裝領(lǐng)域滿足質(zhì)量和可靠性的期望要求。” KLA電子、封裝和元件（EPC）集團執(zhí)行副總裁Oreste Donzella表示。“在KLA，我們具備一個獨特的機會，利用我們40多年在半導體前段制造技術(shù)中的創(chuàng)新經(jīng)歷，提供先進的制程控制解決方案并進一步加速提升封裝良率。”
Kronos 1190晶圓檢測系統(tǒng)利用高分辨率的光學系統(tǒng)，在特征尺寸縮減以及圖案更密集的情況下，為先進晶圓級封裝制程步驟提供在線制程控制。其DefectWise?系統(tǒng)集成人工智能（AI）作為系統(tǒng)級別的解決方案，可以促進靈敏度、產(chǎn)率以及分類準確度。這些進步保證了缺陷的正確識別和分類，進而實現(xiàn)了卓越的質(zhì)量控制和良率提升。全新的Kronos系統(tǒng)中引入了DesignWise?技術(shù)，將設(shè)計輸入添加到FlexPoint?精確定位的檢測區(qū)域，提高了檢測區(qū)域的精度，同時能提供更多相關(guān)的檢測結(jié)果。
在晶圓級封裝進行測試和切割之后，ICOS F160XP系統(tǒng)執(zhí)行檢測和芯片分揀。如移動應用中所采用的那些高端封裝由于其材料易碎而可能帶有切割導致的激光槽、發(fā)絲細紋和側(cè)面裂紋。傳統(tǒng)的肉眼檢測不會發(fā)現(xiàn)這些裂縫。ICOS F160XP系統(tǒng)中采用了全新的IR2.0檢測模塊，它結(jié)合了光學和真正的IR側(cè)面檢測，100％IR檢測的產(chǎn)量也比前一代產(chǎn)品翻了一番。該模塊提供了一種高效的檢測流程，對影響良率的裂紋和其他缺陷類型具有很高的靈敏度，并且可以準確識別不良部件，最大程度地提高了芯片分揀的準確性。
新一代的ICOS T3 / T7系列配備有幾種新型的全自動光學IC元件檢測儀，旨在滿足整個封裝組裝中各個不同制程的檢測需求。該系列中的檢測儀對微小缺陷類型更為靈敏，提供了準確穩(wěn)定的3D量測，能更好地檢測到影響最終封裝質(zhì)量的問題。ICOS T3 / T7系列利用深度學習算法的AI系統(tǒng)來實現(xiàn)智能缺陷類型分類，提供有關(guān)封裝質(zhì)量的準確反饋，并針對各種類型和尺寸的元件進行優(yōu)劣分類，減少操作員的人工復查 。為了支持不斷變化的制造環(huán)境，ICOS T3 / T7檢測儀可以選擇在托盤（T3）和編帶（T7）輸出之間重新配置，從而可以在元件類型之間實現(xiàn)快速轉(zhuǎn)換，并且在T7配置中提供自動換帶機。
由于各種最終用戶垂直行業(yè)的需求增加，全球包括組裝和測試在內(nèi)的半導體封裝市場到2025年預計將達到850億美元。消費電子、信息技術(shù)、數(shù)據(jù)中心、醫(yī)療設(shè)備、通訊和電信、航空航天、國防和汽車等工業(yè)領(lǐng)域都需要依靠先進封裝來降低成本并提高集成電路的功效。
“先進封裝能夠提供高性能計算和5G通信所必需的半導體尺寸縮減，因而是當今數(shù)字時代的關(guān)鍵推手。”Donzella補充說，“我們?nèi)娈a(chǎn)品組合的優(yōu)化，加上最近的EPC集團成立，進一步增加了KLA在封裝市場中的份量。我們不斷創(chuàng)新并實現(xiàn)產(chǎn)品藍圖，這讓行業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新成為可能，推動著新的突破及人類進步。”
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KLA公司致力于開發(fā)領(lǐng)先業(yè)界的設(shè)備與服務，支持整個電子行業(yè)的創(chuàng)新。我們?yōu)榫A和光刻掩模制造、集成電路、封裝、印刷電路板和平板顯示提供先進的制程控制和制程支持解決方案。我們的物理學家、工程師、數(shù)據(jù)工程師和問題解決專員組成專家團隊，與全球領(lǐng)先的客戶密切合作，并共同設(shè)計推動世界前進的解決方案。