近期，國(guó)產(chǎn)刻蝕機(jī)取得新的突破。北方華創(chuàng)近日宣布，公司ICP刻蝕機(jī)1000腔已經(jīng)順利交付。
北方華創(chuàng)自2001年成立后便開始組建團(tuán)隊(duì)研發(fā)刻蝕技術(shù)，并于2004年第一臺(tái)設(shè)備成功起輝，2005年第一臺(tái)8英寸ICP刻蝕機(jī)在客戶端上線，并于2007年獲得國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
目前，北方華創(chuàng)的刻蝕設(shè)備已覆蓋集成電路、LED、先進(jìn)封裝、功率半導(dǎo)體、MEMS、化合物半導(dǎo)體、硅基微顯等多個(gè)領(lǐng)域。
其中，12英寸ICP刻蝕機(jī)在實(shí)現(xiàn)客戶端28nm國(guó)產(chǎn)化替代的同時(shí)，在14/7nm SADP/SAQP、先進(jìn)存儲(chǔ)器、3D TSV等工藝應(yīng)用中也發(fā)揮著重要作用。
北方華創(chuàng)表示，lCP刻蝕機(jī)交付突破1000腔，不僅是公司發(fā)展征程中的重要里程碑，更是國(guó)產(chǎn)刻蝕機(jī)在歷經(jīng)了二十載自主創(chuàng)新，得到客戶廣泛認(rèn)可的重要標(biāo)志。
本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外，轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點(diǎn)。轉(zhuǎn)載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問題，請(qǐng)及時(shí)通過電子郵件或電話通知我們，以便迅速采取適當(dāng)措施，避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失。聯(lián)系電話：010-82306118；郵箱：aet@chinaaet.com。