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引入EUV光刻機(jī),SK海力士M16新廠竣工

2021-02-01
來(lái)源:全球半導(dǎo)體觀察
關(guān)鍵詞: EUV光刻機(jī) 海力士 M16

  2021年2月1日,SK海力士在韓國(guó)京畿道利川總部舉行M16新廠竣工儀式。

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  據(jù)了解,SK海力士M16于2018年11月開(kāi)建,總投資3.5萬(wàn)億韓元。M16廠將主要生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品,總面積5.7萬(wàn)平方米,相當(dāng)于8個(gè)足球場(chǎng),長(zhǎng)335米、寬163米、高105米,是SK海力士國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)設(shè)施中規(guī)模最大的工廠。

  官方信息顯示,SK海力士首次在M16配備EUV(Extreme Ultraviolet,極紫外)光刻機(jī),通過(guò)在M16廠采用先進(jìn)基礎(chǔ)設(shè)備,準(zhǔn)備把新廠發(fā)展成為公司的下一代發(fā)展動(dòng)力。

  SK海力士計(jì)劃運(yùn)用EUV光刻機(jī),從今年下半年起生產(chǎn)第四代1a納米級(jí)DRAM產(chǎn)品。SK海力士今后將提高EUV設(shè)備利用率,進(jìn)一步增強(qiáng)存儲(chǔ)器半導(dǎo)體相關(guān)的先進(jìn)工程技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力。

  SK海力士表示,M16的竣工也意味著SK海力士于2015年在利川M14廠竣工典禮上宣布的“未來(lái)愿景”提前完成。此前,SK海力士宣布自2014年起十年內(nèi)在韓國(guó)建造包括M14在內(nèi)的3個(gè)新廠。2018年于韓國(guó)清州完成M15廠的建設(shè)后,通過(guò)此次M16順利竣工公司成功地提早三年實(shí)現(xiàn)其“未來(lái)愿景”目標(biāo)。

  值得一提的是,SK海力士在電話會(huì)議中透露,利川M16廠將從今年開(kāi)始進(jìn)行試產(chǎn),并視情況調(diào)整,預(yù)計(jì)6月就能完成試產(chǎn),接著正式展開(kāi)大規(guī)模量產(chǎn)。


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