EUV光刻機(jī)有多重要，相信了解芯片產(chǎn)業(yè)的人都清楚的，因?yàn)橹灰M(jìn)入芯片7nm工藝就必須用EUV光刻機(jī)。

而EUV光刻機(jī)目前只有ASML一家能夠生產(chǎn)，其它的光刻機(jī)廠商，像日本的尼康、佳能，中國(guó)的上海微電子都無(wú)法生產(chǎn)。

那么問(wèn)題就來(lái)了，如果說(shuō)上海微電子起步晚，技術(shù)有點(diǎn)落后，還生產(chǎn)不了EUV光刻機(jī)，那為何歷史比ASML更久的尼康、佳能，它們各種技術(shù)、設(shè)備也不受限，為何也生產(chǎn)不了EUV光刻機(jī)？

原因在于ASML在生產(chǎn)出EUV光刻機(jī)后，給其它廠商設(shè)了幾道坎，這幾道坎就限制住了其它廠商順利的生產(chǎn)EUV光刻機(jī)來(lái)。

EUV光刻機(jī)有三大核心技術(shù)，一塊是曝光光源，也就是極紫外線的產(chǎn)生。第二塊就是對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，也就是如何將產(chǎn)生的紫外線收集起來(lái)。第三部分才是光刻等技術(shù)的整合。

在第一部分、第二部分這里，ASML是設(shè)置了坎的，其它廠商如果突破不了這個(gè)坎，就生產(chǎn)不了EUV光刻機(jī)出來(lái)。

先說(shuō)是曝光光源，也就是極紫外線，這里ASML先是收購(gòu)了美國(guó)企業(yè)Cymer，后來(lái)又與德國(guó)的TRUMPF獨(dú)家合作，這就保證了EUV光線的產(chǎn)生技術(shù)只有ASML有，不向ASML之外的廠商提供。

再說(shuō)說(shuō)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，就是將產(chǎn)生的紫外線收集，這里是德國(guó)的蔡司半導(dǎo)體提供整體的方案，還提供后續(xù)所有鏡頭，而ASML與蔡司在這一塊也是獨(dú)家合作，蔡司不向另外的企業(yè)提供這項(xiàng)技術(shù)，而目前沒(méi)有任何其它廠商能夠達(dá)到蔡司的這個(gè)水平。

所以從第一、二部分就注定了EUV光刻技術(shù)，暫時(shí)只能掌握在ASML手中，除非其它企業(yè)在這兩塊，能夠達(dá)到TRUMPF、蔡司的技術(shù)，但目前還真沒(méi)有。

此外，在下游廠商上，ASML也是將臺(tái)積電、三星、英特爾變成了股東，這樣保證了這些廠商買EUV光刻機(jī)，只從ASML買，畢竟大家需求有限，EUV光刻機(jī)市場(chǎng)就這么大。

所以ASML就是先從上游的供應(yīng)鏈，將技術(shù)掌握在自己手中，讓其它光刻機(jī)廠商得不到技術(shù)，生產(chǎn)不出EUV光刻機(jī)。

然后再?gòu)南掠慰蛻簦瑢⒖蛻粽莆赵谧约菏种校屍渌饪虣C(jī)廠商不敢輕易生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，因?yàn)槿サ暨@些主要客戶后，市場(chǎng)需求就不太夠了，就算其它廠商最終生產(chǎn)EUV光刻機(jī)也是虧本生意，所以兩方面著手，設(shè)置了幾道坎，讓EUV光刻機(jī)只有自己能生產(chǎn)。