據(jù)彭博社2月9日的消息,ASML 在本周三發(fā)布的最新年度報(bào)告中提到:“2021 年初,我們根據(jù)有關(guān)報(bào)道了解到,XTAL的關(guān)聯(lián)公司,正在中國積極銷售可能侵犯 ASML 知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。”

據(jù)公開資料顯示,XTAL的“關(guān)聯(lián)公司“為中國的東方晶源微電子,此為前者的母公司,XTAL在2019年的竊取 ASML 商業(yè)機(jī)密案后注銷。

ASML表示:已經(jīng)要求部分客戶暫停與 XTAL 中國的母公司東方晶源微電子的業(yè)務(wù)往來,并已告知中國政府相關(guān)情況。同時(shí),正在“密切關(guān)注這一情況,并準(zhǔn)備在適當(dāng)?shù)臅r(shí)候采取法律行動(dòng)”。

彭博社表示,發(fā)送至 XTAL 網(wǎng)站上列出的官方電子郵件的詢問無法送達(dá),并且打給東方晶源微電子北京總部的電話也無人接聽。

此前,六名前ASML的中國雇員,與XTAL中國員工分享了ASML軟件流程的信息,而遭受調(diào)查,后者被指控竊取ASML產(chǎn)品和服務(wù)的一小部分,將其出售給了ASML位于韓國的客戶。值得一提的是,該客戶為韓國的三星,而三星為XTAL的第二大股東,持有XTAL30%的股份。

2019 年 5 月,美國加州圣克拉拉市法院判決 XTAL 竊取 ASML 商業(yè)機(jī)密一案,ASML 獲得勝訴。加州高等法院判給 ASML 8.45 億美元(約合 57.4 億人民幣)賠償及臨時(shí)禁令,并接手已破產(chǎn)的 XTAL 的大部分知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

從目前披露的信息來看,涉及侵權(quán)的產(chǎn)品也并非光刻機(jī)技術(shù)。

據(jù)了解,東方晶源微電子科技(北京)有限公司(下稱“東方晶源”)成立于2014年2月,總部位于北京,在上海及深圳設(shè)有研發(fā)中心。是由俞宗強(qiáng)博士帶領(lǐng)海外華人科學(xué)家、工程師設(shè)立的高科技公司。

東方晶源承擔(dān)了三項(xiàng)國家“02重大專項(xiàng)”任務(wù),分別為“計(jì)算光刻軟件與測(cè)試系統(tǒng)的研制”、“自由光瞳照明技術(shù)在光刻機(jī)中的應(yīng)用研究”以及“14nm以下電子束硅片圖形缺陷檢測(cè)設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”。其中前兩項(xiàng)均與國產(chǎn)浸沒式光刻機(jī)研發(fā)有關(guān),是國產(chǎn)浸沒式光刻機(jī)所需的核心技術(shù)。

東方晶源主要業(yè)務(wù)為服務(wù)芯片設(shè)計(jì)與制造的EDA軟件產(chǎn)品、光刻機(jī)制程優(yōu)化系列產(chǎn)品的研發(fā)以及納米級(jí)檢測(cè)裝備和關(guān)聯(lián)軟硬件產(chǎn)品良率綜合優(yōu)化解決方案的研發(fā)與生產(chǎn)。公司的核心業(yè)務(wù)和產(chǎn)品均為國內(nèi)唯一,填補(bǔ)國內(nèi)空白。

其中，光刻機(jī)優(yōu)化和計(jì)算光刻軟件(OPC)是連接芯片設(shè)計(jì)和制造的核心軟件,也是光刻機(jī)工作的必備軟件。東方晶源研發(fā)生產(chǎn)的納米級(jí)電子束圖形檢測(cè)裝備(EBI和CD-SEM)也是芯片制造過程中良率檢測(cè)和控制的必備設(shè)備,也是國內(nèi)目前唯一可以實(shí)現(xiàn)28納米前道檢測(cè)的裝備。公司前述三項(xiàng)產(chǎn)品均已在國內(nèi)主要客戶產(chǎn)線驗(yàn)證并獲得多個(gè)訂單,打破了國際巨頭在該等領(lǐng)域的多個(gè)壟斷。公司目前共申請(qǐng)專利142項(xiàng),獲得授權(quán)46項(xiàng),其中包括日本、美國專利19項(xiàng)。