[導讀]流量儀表測量的精確與否，直接關系到工業控制過程的正確 、穩定實現，與我國國民經濟發展有著直接聯系，所以，掌握常見流量儀表的原理，了解典型流量儀 表在自動化系統中的應用，對提高工業自動化水平和儀表裝備水平具有重要意義 。工業中的過程控制是指以溫度、壓力、流量、液位和成分等工藝參數作為被控變量的自動控制。過程控制也稱實時控制，是計算機及時的采集檢測數據，按最佳值迅速地對控制對象進行自動控制和自動調節，如數控機床和生產流水線的控制等。

　　流量儀表測量的精確與否，直接關系到工業控制過程的正確 、穩定實現，與我國國民經濟發展有著直接聯系，所以，掌握常見流量儀表的原理，了解典型流量儀 表在自動化系統中的應用，對提高工業自動化水平和儀表裝備水平具有重要意義 。工業中的過程控制是指以溫度、壓力、流量、液位和成分等工藝參數作為被控變量的自動控制。過程控制也稱實時控制，是計算機及時的采集檢測數據，按最佳值迅速地對控制對象進行自動控制和自動調節，如數控機床和生產流水線的控制等。

　　質量流量控制器是一種新型的流量測量和監測儀器，也是一種無需溫度和壓力補償即可方便地監測管道中不同氣體流動的儀器。其工作原理是將傳感器加熱橋測得的流量信號送至放大器進行放大，將放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，將差分信號放大以控制調節閥，并對通過通道的流量進行閉環控制。流量等于設定流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀表配備有穩壓電源、數字電壓表、設定電位計、內外開關和三位閥控開關。它可用于控制不同的清潔和干燥氣體，包括腐蝕性氣體和復雜氣體，但對于使用腐蝕性氣體或復雜氣體，需要正確選擇型號和密封材料。

　　質量流量計（Mass Flow Meter，縮寫為MFM）和質量流量控制器（Mass Flow Controller，縮寫為MFC）用于對氣體的質量流量進行精確地測量或控制。它在包括很多尖端科學和重大應用技術在內的諸多領域以及基礎工業領域起著非常重要的作用。例如半導體工業的外延、擴散、氣相淀積、離子刻蝕等工藝。光纖工業中的光纖預制棒熔煉，石油化工的實驗研究和應用，材料科學與技術的多方面研究和應用，如納米材料的研究、薄膜材料表面技術等；環境保護的定量取樣，光譜、色譜分析的載氣控制；醫藥及生物工程；微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量等。

　　質量流量計用于測量氣體的質量流量，其測量值不需要進行溫度和壓力修正。傳統的氣體測量通常采用浮子流量計作為檢測單元、用針形調節閥作為執行單元。這種流量控制方法有其難以克服的缺陷。浮子流量計不僅測量精度較低，而且當測量介質的溫度、壓力發生波動時，測量偏差較大，且作為執行單元的針閥，因為需要手動操作，不能精確地調節流量，與檢測單元構成有效的閉環控制。而質量流量計基本不受影響。對于一般的體積流量計，當壓強相對于標準壓強變化0.1MPa時，在相同的流量指示下，其實際的質量流量要變化一倍左右，而質量流量計僅變化0.1%F.S.左右。另外，溫度因素對體積流量計的影響也要大于對質量流量計的影響。

　　質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥和放大控制電路等部件組成。其中，流量傳感器是質量流量計和質量流量控制器中的關鍵部件。

　　傳感器的技術性能包括∶對稱性、線性、重復性、靈敏度、溫度漂移等。材料和結構決定了傳感器的性能，而工藝水平更加重要。例如，填料的使用，密封性等。同時，流量傳感器與分流器以及它與放大電路的匹配，都會對流量傳感器的應用產生重要影響。

　　傳感器加熱電橋測得的流量信號被送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源、數字電壓表、設定電位器、內外設轉換開關和三位閥控開關等。

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