據業內信息報道，荷蘭光刻機設備商ASML在中國臺灣的新廠預計將于明年中旬大約7月份動工，這也是ASML目前在中國臺灣最大的投資。
同時，預計荷蘭ASML會將歐洲供應鏈體系帶來，而預計會在林口工一研發中心或桃園龜山兩處，也可能在臺灣的新竹/臺中/臺南等地。
行政主管沈榮津在出席某論壇時表示，荷蘭ASML將規劃將在臺灣新北市林口工一產業園區內新建廠區來擴充產能，預計在2023年7月開工。
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