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東部高科計劃量產全局快門和SPAD傳感器

2023-02-09
來源:MEMS

  韓國專業半導體代工廠東部高科(DB HiTek)計劃年內實現全局快門和單光子雪崩二極管(SPAD)傳感器量產,加速進入工業機器視覺、自動駕駛汽車和增強現實(AR)等新的高增長領域。

  據麥姆斯咨詢報道,近期,東部高科通過專門針對全局快門和單光子雪崩二極管(SPAD)傳感器的代工制造技術,開始拓展高附加值的專業圖像傳感器業務,備受汽車、機器人等多個行業的關注。

  基于已有的制造技術,東部高科計劃通過擴展進入新的高增長領域,如工業機器視覺、自動駕駛汽車和增強現實(AR),來提高盈利能力。

  全局快門是一種能夠無失真捕捉快速移動物體圖像的傳感器技術,已被應用于機器視覺(一種使計算設備能夠檢查、評估并識別靜止或運動圖像的技術)。機器視覺最近已經成為“智能工廠的眼睛”。此外,全局快門的應用范圍正在迅速擴展到機器人、無人機和汽車等領域。

  東部高科的全局快門傳感器采用遮光罩和導光技術防止光信號失真,擁有99.997%(噪聲發生率低于1/10000)的全局快門效率(GSE),并且能支持最小至2.8微米的多種像素尺寸。

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  東部高科的圖像傳感器技術路線圖

  此外,基于SPAD的3D圖像傳感器可以檢測單個光子水平的弱光信號,基于其高精度和遠程測量的優勢,是自動駕駛汽車激光雷達(LiDAR)的核心組件。最近,它通過在高端智能手機上支持增強現實功能而迅速應用,未來其作用將廣泛擴展到機器人和無人機等新一代應用領域。

  激光雷達是一種高精度測距傳感器模組(包括激光器、探測器及光束操縱器件等),能夠獲取從激光器發射光線到物體反射回光線所需的飛行時間(ToF),從而測量出探測器與物體之間的距離。

  據英國知名市場研究機構IDTechEx預測,激光雷達市場有望繼續保持高增長率,預計到2033年,Level 3及以上自動駕駛汽車應用的3D激光雷達的全球市場規模將增長至84億美元,詳見:《激光雷達(LiDAR)技術及市場-2022版》。

  東部高科的SPAD制造工藝確保了光子探測性能,基于940nm波長的前照式(FSI)和背照式(BSI)的SPAD光子探測概率分別可達3.2%和7%。此外,東部高科計劃未來通過BDTI(背照式深溝槽隔離,通過在像素之間形成絕緣部分,最小化光損耗,提高光學性能)工藝將光子探測概率提升至15%,從而實現行業最高的競爭力。

  東部高科營銷副總裁Cheonman Shim表示:“基于全局快門和SPAD工藝,我們正專注與全球領先的業內公司進行產品開發,目標是在年內實現量產。我們計劃通過提供先進的工藝和工藝設計套件(PDK)來加強對客戶的支持,以便在合適的時間進入市場。”



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