《電子技術(shù)應(yīng)用》
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半導(dǎo)體基礎(chǔ)之半導(dǎo)體材料

2023-12-08
來(lái)源:半導(dǎo)體芯片電子通信

【什么是半導(dǎo)體

半導(dǎo)體( Semiconductor),指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體(Conductor)與絕緣體(Insulator)之間的材料。其導(dǎo)電性可受控制,范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料,可作為信息處理的元件材料。常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等,而硅更是各種半導(dǎo)體材料中,在商業(yè)應(yīng)用上最常見(jiàn)且最具有影響力的一種。從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看,半導(dǎo)體非常重要,很多電子產(chǎn)品,如計(jì)算機(jī)、手機(jī)、智能終端,汽車(chē)等的核心控制單元都是利用半導(dǎo)體的電導(dǎo)率變化來(lái)處理信息。

絕緣體:電導(dǎo)率較低,約介于20-18S/cm~10-8S/cm, 如熔融石英及玻璃。

導(dǎo) 體: 電導(dǎo)率較高,介于104S/cm~106S/cm,如鋁、銀等金屬。

半導(dǎo)體:電導(dǎo)率則介于絕緣體及導(dǎo)體之間。

最常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料,就是地表含量最多的硅(Si),硅原子本身具有四個(gè)價(jià)電子,分別位在sp3的四個(gè)軌域中,由于每個(gè)軌域需擁有2個(gè)電子,以形成八隅體的穩(wěn)定狀態(tài),正好在純硅中,每個(gè)硅原子都與四個(gè)硅原子相鄰,并且與這四個(gè)外圍硅原子共享軌域,形成硅原子間的共價(jià)結(jié)構(gòu),如圖所示,此種共價(jià)結(jié)果相當(dāng)穩(wěn)定,不存在自由電子,也因此純硅的導(dǎo)電性極差。

絕緣體:電導(dǎo)率較低,約介于20-18S/cm~10-8S/cm, 如熔融石英及玻璃。

導(dǎo) 體: 電導(dǎo)率較高,介于104S/cm~106S/cm,如鋁、銀等金屬。

半導(dǎo)體:電導(dǎo)率則介于絕緣體及導(dǎo)體之間。

最常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料,就是地表含量最多的硅(Si),硅原子本身具有四個(gè)價(jià)電子,分別位在sp3的四個(gè)軌域中,由于每個(gè)軌域需擁有2個(gè)電子,以形成八隅體的穩(wěn)定狀態(tài),正好在純硅中,每個(gè)硅原子都與四個(gè)硅原子相鄰,并且與這四個(gè)外圍硅原子共享軌域,形成硅原子間的共價(jià)結(jié)構(gòu),如圖所示,此種共價(jià)結(jié)果相當(dāng)穩(wěn)定,不存在自由電子,也因此純硅的導(dǎo)電性極差。

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【硅原子結(jié)構(gòu)】

但是,如果我們?cè)诩児柚袚饺肷僭S的砷(As)或磷(P),每個(gè)砷或磷原子會(huì)取代某個(gè)硅原子,仍與四個(gè)硅原子相鄰,需要四個(gè)電子以形成四個(gè)共價(jià)鍵,由于砷或磷原子的最外層有五個(gè)電子,卻只與硅共享四個(gè)電子,因而多出了一個(gè)可自由活動(dòng)的電子,也就是自由電子,這種架構(gòu)就是所謂的n型半導(dǎo)體,

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 摻砷或磷,多出自由電子

如下圖所示。如果我們?cè)诩児柚袚饺肷僭S的硼(B),就反而少了一個(gè)電子,而形成一個(gè)電洞,這樣就形成p型半導(dǎo)體,此時(shí)若在硅晶兩端加電壓,就能使電子產(chǎn)生自由移動(dòng)而顯著地增加其導(dǎo)電性。

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摻硼,形成電子空穴

【分類(lèi)】

半導(dǎo)體材料很多,按化學(xué)成分可分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類(lèi)。

鍺(Ge)和硅(Si)是最常用的元素半導(dǎo)體;元素半導(dǎo)體材料是指由單體元素構(gòu)成的半導(dǎo)體材料,包括鍺、硅、硒、硼、碲、銻等。上世紀(jì)50年代,鍺占主導(dǎo)地位,由于鍺的開(kāi)采成本高、儲(chǔ)量低和性能不如硅,鍺半導(dǎo)體器件的耐高溫和抗輻射性能較差,到60年代后期逐漸被硅材料取代,目前主要以硅基和化合物材料共生共存的半導(dǎo)體材料格局。

化合物半導(dǎo)體材料主要是由兩種或兩種以上元素構(gòu)成的,主要有砷化鎵(GaAs)、氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)等。此類(lèi)化合物半導(dǎo)體材料的優(yōu)點(diǎn)有高電子遷移率、高頻率、寬幅頻寬、高線性度、高功率、材料多元性以及抗輻射等。

砷化鎵(GaAs):主要運(yùn)用于通訊領(lǐng)域,受益于通信射頻中的功率放大器(PA),GaAs微波射頻器件(射頻芯片、基帶芯片)越來(lái)越廣泛應(yīng)用于移動(dòng)手機(jī)、無(wú)線局域網(wǎng)絡(luò)、光纖通訊、衛(wèi)星通訊、衛(wèi)星定位、GPS 汽車(chē)導(dǎo)航等領(lǐng)域,市場(chǎng)占有率最高;

氮化鎵(GaN):大功率、高頻性能更加出色,主要運(yùn)用于軍事、汽車(chē)、新能源等領(lǐng)域;

碳化硅(SiC):則主要運(yùn)用于汽車(chē)及工業(yè)電力電子領(lǐng)域,在大功率轉(zhuǎn)換應(yīng)用中優(yōu)勢(shì)明顯。

隨著現(xiàn)代科學(xué)與技術(shù)的發(fā)展,硅材料在半導(dǎo)體制作上逐漸趨向物理極限,已經(jīng)無(wú)法滿足一些超高規(guī)格電子產(chǎn)品對(duì)高功率,高頻率和高壓等苛刻條件。因此,可以通過(guò)以硅材料為襯底,化合物材料在硅材料外延生長(zhǎng)制成單晶片,也能滿足射頻芯片、功率器件對(duì)高頻、高壓、高功率的需求,在一定程度上緩解了硅材料性質(zhì)的劣勢(shì)。

但是要滿足90%以上基礎(chǔ)需求,硅基半導(dǎo)體有著更大的應(yīng)用領(lǐng)域。硅基半導(dǎo)體主要運(yùn)用于邏輯器件、存儲(chǔ)器、分立器件(功率二極管、三極管、晶閘管)等。主要用于AI、手機(jī)、IOT、5G通信領(lǐng)域。

一、半導(dǎo)體產(chǎn)品的類(lèi)別應(yīng)該怎么去區(qū)分呢?
按照國(guó)際通行的半導(dǎo)體產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)方式進(jìn)行分類(lèi),半導(dǎo)體可以分為四類(lèi):集成電路,分立器件,傳感器和光電子器件,這四類(lèi)可以統(tǒng)稱(chēng)為半導(dǎo)體元件

半導(dǎo)體的分類(lèi),按照其制造技術(shù)可以分為:集成電路器件,分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲(chǔ)存器等大類(lèi),一般來(lái)說(shuō)這些還會(huì)被分成小類(lèi)。

以應(yīng)用領(lǐng)域、設(shè)計(jì)方法等進(jìn)行分類(lèi),雖然不常用,但還是按照IC、LSI、VLSI(超大LSI)及其規(guī)模進(jìn)行分類(lèi)的方法。

按照其所處理的信號(hào),可以分成模擬、數(shù)字、模擬數(shù)字混成及功能進(jìn)行分類(lèi)的方法。

二、為什么硅材料會(huì)被用在芯片材料呢?

理論上來(lái)說(shuō),所有半導(dǎo)體都可以作為芯片材料,但是硅材料為什么最適合做芯片,主要原因有下:

(1)按地球元素含量排行,依次為:氧>硅>鋁>鐵>鈣>鈉>鉀……可以看到硅排在了第二位,含量巨大,硅元素(石英砂)在地殼中占到27.7%,降低半導(dǎo)體的材料成本,這也讓芯片有了幾乎取之不盡用之不竭的原材料;

(2)硅元素化學(xué)性質(zhì)和物質(zhì)性質(zhì)都十分穩(wěn)定,最早的晶體管其實(shí)是使用半導(dǎo)體材料鍺來(lái)制作的,但是因?yàn)闇囟瘸^(guò)75℃時(shí),導(dǎo)電率會(huì)出現(xiàn)較大變化,做成PN結(jié)后鍺的反向漏電流比硅大,因此選取硅元素作為芯片材料更加合適;

(3)硅材料本身無(wú)毒無(wú)害,對(duì)環(huán)境無(wú)害,算是清潔能源。其實(shí)提純對(duì)環(huán)境污染也挺嚴(yán)重的,這也是其被選于用作芯片的制造材料的重要原因之一。

(4)天然絕緣體,可通過(guò)加熱形成二氧化硅絕緣層,防止半導(dǎo)體漏電現(xiàn)象,因此在晶圓制造時(shí)減去表面沉積多層絕緣體步驟,降低晶圓制造生產(chǎn)成本。

(5)制作工藝成熟,以硅材料制作的半導(dǎo)體硅片技術(shù)發(fā)展,從1970年的2英寸硅片進(jìn)步至2020年的18英寸硅片。經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的發(fā)展,與其他半導(dǎo)體材料相比較,硅材料的應(yīng)用技術(shù)更加成熟且更具有規(guī)模效益,在這樣的條件下,硅材料顯得“物美價(jià)廉”,這樣的特質(zhì)給予了硅材料不可替代的行業(yè)地位。

【晶圓制造原理】(參考書(shū)籍:《半導(dǎo)體故事》[英] 約翰·奧頓 著,姬揚(yáng) 譯)

第一步:粗煉Si,用焦炭和石英砂在高溫電弧爐中反應(yīng),得到純度不高的Si。

方程式:SiO2+C→Si+CO2

第二步:用HCl精煉Si,利用CuCl作為催化劑,把Si轉(zhuǎn)化為SiHCl3(純度7個(gè)9),再通入H2通過(guò)化學(xué)氣相沉積法把SiHCl3轉(zhuǎn)化回Si(純度9個(gè)9)。

方程式:Si+HCl→SiHCl3+H2;SiHCl3+H2→Si+HCl                       

這里的Si是多晶硅,多晶硅存在晶格失配和位錯(cuò),會(huì)導(dǎo)致原子未排列在正確的位置上,在晶界存在電荷,這就會(huì)產(chǎn)生能帶彎曲。那么,自由電子和空穴在傳輸過(guò)程中就會(huì)被散射,大大降低了自由載流子的遷移率。這也是這一步中得到的Si不能投入使用的原因之一。

第三步:Si提純是提拉法(如圖),把熔化Si的放在石墨坩堝里面,使用感應(yīng)法加熱(熱電偶),之后又放在石英容器里,通過(guò)純氫氣體作為清潔氛圍。再把作為種子的籽晶放在垂直棒的前端,再放入熔化的Si里面。因?yàn)樽丫П砻鏁?huì)吸附熔化物,在垂直棒不斷緩慢旋轉(zhuǎn)和提拉的過(guò)程中(大約是每個(gè)小時(shí)提拉10cm),可以長(zhǎng)出直徑比籽晶大得多的體材料晶體。這就是俗稱(chēng)的提拉法。提拉法的巧妙之處之一是,通過(guò)軸的旋轉(zhuǎn)控制了溫度和幾何構(gòu)性的不均勻性帶來(lái)的影響,使得Si不僅有極高的純度,還有良好的單晶性。

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提拉法示意圖

第四步:切割單晶硅圓柱能得到片狀單晶硅晶圓。像集成電路需要的高純Si就是Si晶圓,從而構(gòu)成了制造芯片的地基。

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