全球光刻機(jī)巨頭ASML（阿斯麥）的新年開(kāi)篇頗有些鬧心。
新年首日，ASML發(fā)布公告稱(chēng)，荷蘭政府最近吊銷(xiāo)部分了2023年發(fā)貨的NXT:2050i和NXT:2100i光刻系統(tǒng)的許可證，影響了少數(shù)中國(guó)客戶(hù)。
吊銷(xiāo)舉措比荷蘭出口管制新規(guī)原定生效的日期提前了數(shù)星期。當(dāng)然，這背后少不了美國(guó)政府的施壓。“在美國(guó)拜登政府的要求下”，彭博社如此形容道。
美國(guó)政府對(duì)荷蘭公司ASML的要求可謂接二連三 ↓↓↓：
2019年以來(lái)，美國(guó)事實(shí)上禁止ASML極紫外（EUA）光刻機(jī)向中國(guó)大陸出口。
2023年3月，ASML表示將需要申請(qǐng)出口許可證才能裝運(yùn)最先進(jìn)的浸潤(rùn)式DUV系統(tǒng)。
2023年，美國(guó)宣布新規(guī)，如果ASML的浸潤(rùn)式DUV系統(tǒng)“Twinscan NXT1930Di”機(jī)器含有任何美國(guó)零部件，美國(guó)有權(quán)限制其出口。
為什么美國(guó)就愛(ài)盯著荷蘭的光刻機(jī)不放？除了ASML是全球唯一一家能夠生產(chǎn)7納米及以下芯片所需的EUV光刻機(jī)的廠商之外，美國(guó)與ASML還有什么“仇”有什么“恨”？
ASML 與 EUV LLC
對(duì)于芯片制造，光刻是一個(gè)必不可少的環(huán)節(jié)。可以說(shuō)，沒(méi)有光刻機(jī)，就沒(méi)有現(xiàn)代芯片產(chǎn)業(yè)。2018年，ASML推出全球第一款EUV光刻機(jī)，將摩爾定律向前延續(xù)至5納米及以下制程的節(jié)點(diǎn)。時(shí)至今日，ASML都是EUV技術(shù)唯一的玩家，并且壟斷全球光刻機(jī)市場(chǎng)80%的份額。
不過(guò)，美國(guó)或許覺(jué)得，ASML之所以能取得今日光刻龍頭的地位，很大程度上是因?yàn)樵缙诿绹?guó)科技界的支持。
1996年，為了從理論上驗(yàn)證EUV的可行性，英特爾聯(lián)合美國(guó)能源部下面的三大國(guó)家實(shí)驗(yàn)室，以及摩托羅拉和AMD等芯片廠商成立了合作組織EUV LLC聯(lián)盟（極紫外線有限責(zé)任公司）。
當(dāng)然，作為一位芯片制造商，英特爾的目標(biāo)是制造東西，而不僅僅是科學(xué)研究。因此，英特爾希望找到一家能夠商業(yè)化和大規(guī)模生產(chǎn)EUV工具的公司加入EUV LLC，這個(gè)被選中的半導(dǎo)體設(shè)備公司就是ASML。
就這樣，1997年--2003年，EUV LLC匯集了幾百位頂級(jí)科學(xué)家，投入2億美元（其中大部分由英特爾支持），發(fā)表了幾百篇論文，終于驗(yàn)證了EUV光刻機(jī)的可行性。
之后，EUV LLC聯(lián)盟解散，ASML繼續(xù)將科學(xué)研究轉(zhuǎn)化成商業(yè)成果，并在15年后，克服重重困難推出了全球首款EUV光刻機(jī)，也徹底將競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手尼康甩在身后。
且不論EUV LLC的研究成果在多大程度上幫助了ASML。雖然不明說(shuō)，但美國(guó)暗地里多少會(huì)覺(jué)得，在這方面，ASML欠他們一份人情。而既然欠了人情，該還的時(shí)候總要還的，對(duì)吧？
美國(guó)，失落的光刻機(jī)霸主
美國(guó)政府現(xiàn)在看ASML的心情，應(yīng)該是五味雜陳的。一方面，不得不仰仗其最新一代光刻機(jī)來(lái)重建美國(guó)在芯片先進(jìn)制造上的領(lǐng)先地位。另一方面，這個(gè)游離在荷蘭的光刻機(jī)巨頭，多少讓美國(guó)品出了一絲“養(yǎng)虎為患”的意味。
自始至終，美國(guó)政府對(duì)ASML壟斷光刻機(jī)技術(shù)都是忌憚的。最初英特爾邀請(qǐng)ASML加盟EUV LLC時(shí)，美國(guó)政府內(nèi)部就出現(xiàn)一些聲音，認(rèn)為讓外國(guó)公司獲得美國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室最先進(jìn)研究成果的做法不合適，因?yàn)橐坏┏晒Γ绹?guó)將依賴(lài)ASML的光刻機(jī)作為所有計(jì)算的基礎(chǔ)工具。
世紀(jì)之交，ASML準(zhǔn)備收購(gòu)美國(guó)最后一家大型光刻機(jī)公司硅谷集團(tuán)（SVG）。當(dāng)時(shí)，硅谷集團(tuán)已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于行業(yè)領(lǐng)先者，但美國(guó)國(guó)防部再次質(zhì)疑該交易是否符合美國(guó)的安全利益。三名參議員寫(xiě)信給時(shí)任總統(tǒng)提出反對(duì)，稱(chēng)“ASML最終將擁有美國(guó)政府的所有EUV技術(shù)。”
不過(guò)，反對(duì)的聲音在當(dāng)時(shí)都是占少數(shù)的，ASML最終還是順利加入EUV LLC以及收購(gòu)了硅谷集團(tuán)。現(xiàn)在回過(guò)頭看，美國(guó)政府或許多少有些懊悔讓ASML成為唯一家EUV光刻機(jī)設(shè)備商。
而更懊悔的或許是，這樣的局面確是自己一手造成的，因?yàn)樽约簺](méi)有延續(xù)光刻機(jī)霸主的地位。是的，美國(guó)公司GCA（美國(guó)地球物理公司）曾在20世紀(jì)八十年代初處于行業(yè)全球領(lǐng)先地位。
1978年，GCA推出第一臺(tái)步進(jìn)式光刻機(jī)并壟斷了全球85%的半導(dǎo)體光刻設(shè)備市場(chǎng)。這種可以一步一步地移動(dòng)的設(shè)備，能逐個(gè)將硅片上的每個(gè)芯片曝光，比當(dāng)時(shí)已有的掃描式準(zhǔn)確得多。很快，訂單如雪片般飄來(lái)，GCA也市值暴漲。
不過(guò)，GCA的壟斷地位沒(méi)有持續(xù)很久，半導(dǎo)體下行周期疊加日本公司尼康的有力競(jìng)爭(zhēng)，GCA的市場(chǎng)份額在20世紀(jì)八十年代后期下降到50%，直至成為一個(gè)遠(yuǎn)落后于尼康、佳能和ASML的小公司。1993年，GCA關(guān)閉。關(guān)閉前，GCA曾最后一次呼吁美國(guó)政府的幫助，但美國(guó)政府得出的結(jié)論是，什么也做不了。
種種情緒疊加，或者可以解釋為什么在對(duì)ASML光刻機(jī)的出口上，美國(guó)如此敏感。
寫(xiě)在最后
曾幾何時(shí)，全球化分工是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最引以為傲的特征之一，也帶動(dòng)了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在過(guò)去60年間的蓬勃發(fā)展。
而EUV光刻機(jī)，恰恰是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全球化協(xié)作開(kāi)出的最美麗的花朵，需要EUV LLC的基礎(chǔ)研究，更需要ASML此后十?dāng)?shù)年的堅(jiān)持和突破、全球零部件供應(yīng)商的齊心協(xié)力、以及全球半導(dǎo)體市場(chǎng)的哺育。
如今，如何延續(xù)摩爾定律成為產(chǎn)業(yè)急迫需要解決的問(wèn)題，產(chǎn)業(yè)卻深陷地緣政治的陰霾中，以封鎖、打壓、限制取代正常的商業(yè)競(jìng)爭(zhēng)。
對(duì)于美國(guó)施壓荷蘭ASML公司停止向中國(guó)出口光刻機(jī)，1月2日，外交部發(fā)言人汪文斌回應(yīng)道，“半導(dǎo)體是高度全球化的產(chǎn)業(yè)。在各國(guó)經(jīng)濟(jì)深度融合的背景下，美方有關(guān)霸道霸凌行徑嚴(yán)重違背國(guó)際貿(mào)易規(guī)則，嚴(yán)重破壞全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局，嚴(yán)重沖擊國(guó)際產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全和穩(wěn)定，必將自食其果。”
