《電子技術(shù)應(yīng)用》
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復旦大學:我國將在2028年完成28nm工藝的安全化

2025-06-10
來源:快科技
關(guān)鍵詞: ASML 光刻機 28nm

6月9日消息,近日,荷蘭光刻機巨頭ASMLCEO傅恪禮(Christophe Fouquet)接受媒體采訪時明確表示,美國出臺的打壓措施只會適得其反,讓中國“更努力取得成功”。

ASML是全球唯一一家高端光刻機的制造商。傅恪禮稱,中國已經(jīng)開始研發(fā)一些國產(chǎn)光刻設(shè)備,盡管中國在趕超ASML的技術(shù)方面還有很長的路要走,但“你試圖阻止的人會更加努力地取得成功。”

傅恪禮補充道:“無論你設(shè)置多少障礙都沒用。”

據(jù)此前報道,中國科學院成功研發(fā)除了突破性的固態(tài)DUV(深紫外)激光,可發(fā)射193nm的相干光,與目前主流的DUV曝光波長一致,能將半導體工藝推進至3nm。

在國產(chǎn)光刻機真正完成替代之前,我們依然需要使用ASML的DUV光刻機。

那么就有一個很多人關(guān)心的問題,光刻機有后門嗎?外國公司是否能夠遠程控制我國的光刻機?

據(jù)國內(nèi)媒體報道,復旦大學網(wǎng)絡(luò)空間國際治理研究基地特邀研究員、B站知名半導體up主芯聲對此表示:

“根據(jù)我掌握的消息和個人分析,我們應(yīng)該能在2028年完成28nm工藝的安全化。所謂安全化,并非將所有設(shè)備和工序一律國產(chǎn)化,而是確保28nm工藝所需要素可持續(xù)供應(yīng),并部分以國產(chǎn)材料替代。到2030年,我們有望同樣實現(xiàn)14nm工藝的安全化。”

這意味著,到2028年,我們可在基站等關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)芯片全面國產(chǎn)化。到2030年,若成功實現(xiàn)14nm制程生產(chǎn)安全化,就能徹底跨過AI芯片的門檻,為我們的AI芯片生產(chǎn)提供一個基礎(chǔ)的安全保障,盡管可能到時候這條產(chǎn)線上生產(chǎn)的AI芯片不會太先進。

“我之前曾參與過與ASML的談判,對方曾明確希望將我們的光刻機接入外網(wǎng),理由是便于他們提供更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)——只要將機器連接到互聯(lián)網(wǎng),ASML預裝的遠程運維系統(tǒng)即可實時傳回所有數(shù)據(jù)。一旦出現(xiàn)故障,便可隨時遠程處理,無需人工收集后再上傳。”

所以在這個背景下,你覺得它是否會留下后門、能否被遠程關(guān)閉?畢竟ASML方面自己都說了,只要聯(lián)網(wǎng),就能處理一切問題。


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