《電子技術應用》
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據(jù)知名市場調(diào)研機構DisplaySearch近期預測,2007年和2008年全球平板顯示產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值將分別達到927億美元和1020

2007-08-14
作者:人民網(wǎng)-人民日報
??? 日前,由西安理工大學和北京有色金屬研究總院承擔的國家“863”計劃項目“TDR—150型單晶爐(12英寸MCZ綜合系統(tǒng))” 在北京通過了驗收,這標志著擁有自主知識產(chǎn)權和核心技術的大尺寸" title="大尺寸">大尺寸集成電路與太陽能用硅單晶生長設備在我國" title="我國">我國研制成功。驗收專家組評價TDR—150型單晶爐性能穩(wěn)定可靠,運行平穩(wěn),填補了國內(nèi)12英寸無位錯硅單晶生長設備的空白。

  “我國以單晶爐為代表的晶體生長" title="晶體生長">晶體生長設備一直存在核心技術不足的問題,高端產(chǎn)品" title="高端產(chǎn)品">高端產(chǎn)品均為國外公司所壟斷。”西安理工大學校長、課題組負責人劉丁教授介紹說,“硅單晶作為現(xiàn)代信息社會的關鍵性支撐材料,是目前世界上最重要的單晶材料之一,也是發(fā)展計算機與集成電路的主要功能材料。”

  “該項" title="該項">該項成果突破了國外技術封鎖與壟斷,初步改變了在我國晶體生長設備領域研發(fā)制造受制于人的局面。” 驗收組組長、清華大學自動化系教授楊耕說,“該課題的完成對我國微電子和光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將起到積極的促進作用。”
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