作者：肖小虎 高珊 陳軍寧 柯導明 

0 引言

隨著功率集成電路的飛速發(fā)展，功率半導體器件的研究與開發(fā)顯得愈發(fā)重要。LDMOS是DMOS器件的一種橫向高壓器件。具有耐壓高、增益大、失真低等優(yōu)點，并且更易與CMOS工藝兼容，因此在射頻集成電路中得到了廣泛的應用。目前LDMOS設計的重點是如何合理緩和擊穿電壓與導通電阻之間的矛盾，并且保證其有較高的穩(wěn)定性。

場板技術是功率LDMOS器件中使用最為頻繁的一種終端技術。合理的場板設計可以使漂移區(qū)的平均電場增加，減小電場峰值，從而達到抑制熱載流子效應，提高擊穿電壓等目的。因此，建立LDMOS的電場分布模型，理論上對場板下的電場分布進行數(shù)值分析有重要的現(xiàn)實指導意義。本文將通過建立二維解析模型研究LDMOS的場板的不同結構對于其漂移區(qū)電場和電勢的影響，并在此基礎上通過優(yōu)化場板來提高LDMOS的性能。

1 二維解析模型



LDMOS的橫向切面圖如圖l所示。其中X和Y分別為距漂移區(qū)左上角的橫向距離和縱向距離，漂移區(qū)分成五部分，各區(qū)邊界點的橫坐標分別設為L1、L2、L3、L4和L5。各區(qū)對應的襯底耗盡層寬度分別為tis(i=1，2，3，4，5)。柵極下氧化層的厚度為tox1，場板下的氧化層厚度為tox2，漏端下氧化層厚度為tox3。n-drift漂移區(qū)的濃度為Nn，厚度為td。P型硅襯底濃度為Nsub，所加柵壓為Vg1，場板所加電壓為Vg2，漏壓Vd。源極和襯底接地。則漂移區(qū)的二維電勢分布φ(x，y)滿足二維泊松方程：

其中εo和εsi分別為真空介電常數(shù)和Si的介電常數(shù)。

由于漂移區(qū)是均勻摻雜的，在1區(qū)(0≤x≤L1)對式(1)進行y方向的積分可得：

由于Si02／Si界面上的電位移是連續(xù)的，忽略Si02中固定電荷，可得：






由于2、4、5區(qū)中縱向電場和橫向電場相比可忽略，可近似認為



其他各區(qū)的對應的耗盡層厚度可由得到，而由[2]可定義



根據(jù)漂移區(qū)表面電場和電勢的連續(xù)性可得出邊界條件

將上式在x方向微分，解得



式中Ui(i=1，2，3，4）的值可由Ei(Li，0)=Ei+1(Li，0)解得。

2 結果和分析



上圖是在器件關態(tài)條件下漂移區(qū)表面電勢和電場分布的理論值。采用的數(shù)據(jù)如下：



從圖中可以看出，LDMOS處于關態(tài)時根據(jù)理論模型計算得到的結果和Medici仿真結果的比較。由于本文的模型忽略了氧化層固定電荷，所以和Medici仿真結果有差異較小。由圖可見，漂移區(qū)的電場峰值出現(xiàn)在p阱／n-漂移區(qū)結處、場板的兩端與漏端附近。這些電場峰值處也就是最可能的擊穿點。



下面將詳細討論多晶柵場極板的長度和位置對漂移區(qū)表面電場和電勢的影響。圖4為不同場板長度下漂移區(qū)表面電場分布。由圖可見，隨著場板長度的增加，場板下的電場峰值先減小后增加，這是因為場板長度較短時，場板末端與場氧鳥嘴區(qū)以及p阱／n-漂移區(qū)結距離較近，等勢線在此區(qū)域分布較密，三者相互作用可使此處表面電場增強，器件容易在此處發(fā)生雪崩擊穿；隨著場板長度增加，場板末端和漏極距離縮短，進而調制漏電極附近的電場峰值，使得電場在整個漂移區(qū)內分布更加均勻，提高器件的耐壓能力。但是場板長度過長時，反而會增強漏端電場，因此，對于LDMOS，場板長度有一個最優(yōu)值。



圖5為不同場板位置時漂移區(qū)表面電場分布，此時場板長度取2．5μm。由圖知，隨著場板向漏端靠近，場板下的電場峰值逐漸增加，這是場板所加電壓與漏壓共同作用所致。這一點對提高器件的耐壓能力很有幫助，也是優(yōu)化設計場極板位置的主要依據(jù)。當場極板遠離柵極時，出現(xiàn)溝道末端電場上升，漏端電場下降的趨勢。考慮到漏端電場峰值更大，此處是器件的擊穿點，因此設計時主要考慮降低漏端電場峰值。因此，針對文中的LDMOS器件結構，場板位置應該設計在靠近漏極處。從圖4和圖5可見最大電場峰值位于漏端，因此一旦發(fā)生熱載流子效應，這里電離積分很大，是熱電子產(chǎn)生的主要區(qū)域。與柵氧化層處的熱載流子效應不同，漏端熱載流子進入場氧化層形成的界面電荷距離溝道很遠，因此不會改變器件的閾值電壓，但是這部分電荷會影響到漂移區(qū)電流密度的分布，進而改變器件的驅動電流和跨導，對LDMOS的可靠性產(chǎn)生影響。



圖6為場板加不同電壓時的漂移區(qū)表面電場分布圖。此時場板長度取2．5μm，場板距離柵極0．5μm。從圖中可以看出，隨著場板所加電壓的增大，場板靠近柵極的一端電場峰值增大，而靠近漏極一端的電場峰值減小，即整個場板區(qū)的電勢降落隨場板電壓的增大而增大。而其他區(qū)域的電場隨場板電壓變化不大。因此對于LDMOS場板電壓的控制也是器件設計的一個重要因素。

3 結論

本文根據(jù)LDMOS器件漂移區(qū)電場分布和電勢分布的二維解析模型，通過分段求解泊松方程得出了器件漂移區(qū)表面電勢分布和電場分布的解析表達式，并根據(jù)所得的表達式分析了LDMOS一階場板的長度和位置以及場板所加電壓對于其漂移區(qū)表面電勢和電場分布的影響。計算結果表明，LDMOS的場板各參數(shù)對于器件的性能有很大影響。因此，本文的分析模型對于實際LDMOS器件的設計有著重要的指導意義。