《電子技術(shù)應(yīng)用》
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一種基于MEMS傳感器基準(zhǔn)電流源設(shè)計(jì)
來源:電子技術(shù)應(yīng)用2010年第8期
趙 良,陳向東,蘇長遠(yuǎn),葛 林
西南交通大學(xué) 信息科學(xué)與技術(shù)學(xué)院,四川 成都610031
摘要: 基于微機(jī)電系統(tǒng)傳感器工作原理,提出了一種應(yīng)用于MEMS傳感器系統(tǒng)的低溫度系數(shù)和高電源抑制比基準(zhǔn)電流源設(shè)計(jì)方案。在研究傳統(tǒng)Widlar型基準(zhǔn)電流源結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上,運(yùn)用BJT小信號(hào)模型分析,得出通過增大反饋環(huán)路增益來提高PSRR的結(jié)論。
關(guān)鍵詞: MEMS 傳感器 基準(zhǔn)電流源
中圖分類號(hào): TN431.1
文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼: A
文章編號(hào): 0258-7998(2010)08-0070-04
Design of a new reference current source based on MEMS sensor
ZHAO Liang,CHEN Xiang Dong,SU Chang Yuan,GE Lin
School of Information Science & Technology, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031,China
Abstract: Based on MEMS sensor working principle, a low temperature coefficient and high power supply rejection ratio reference current source was designed for MEMS sensor system. Based on the traditional Widlar-type structure reference current source, the BJT small-signal model was analyzed, the method of increasing the loop gain to enhance the reference current source PSRR was obtained, and to reduce the temperature coefficient, a self-compensation diode-loop increasing the current reference curvature compensation was designed.
Key words : MEMS;sensor;reference current source

    隨著集成電路工藝的發(fā)展,基準(zhǔn)電流源模塊廣泛應(yīng)用于模擬及數(shù)?;旌闲盘?hào)諸多領(lǐng)域。在過去的十幾年里,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的研究與發(fā)展為基準(zhǔn)電流源模塊帶來新的市場和設(shè)計(jì)挑戰(zhàn)。從MEMS發(fā)展的總體水平看,許多關(guān)鍵技術(shù)已經(jīng)突破,正處于從實(shí)驗(yàn)室研究走向?qū)嵱没?、產(chǎn)業(yè)化階段。我國的微系統(tǒng)研究在基礎(chǔ)研究和相關(guān)技術(shù)方面都取得了一些有特色的成果[1],其中MEMS傳感器技術(shù)發(fā)展尤為迅速?;诖?,本文提出一種可用于MEMS氣體傳感器的基準(zhǔn)電流源設(shè)計(jì)方案,該方案能夠滿足MEMS傳感器技術(shù)條件下的低溫度漂移、高電源抑制比(PSRR)的特點(diǎn)。
1 基準(zhǔn)電流源原理分析
1.1 Widlar型基準(zhǔn)電流源小信號(hào)建模

    Widlar型基準(zhǔn)電流源如圖1所示[2],由于Q1、M4采用二極管連接的方式,故可分別用一個(gè)電阻表示;M3、M5可分別用一個(gè)電壓控制電流源與電阻并聯(lián)表示。由BJT小信號(hào)模型可知,Q2可用一個(gè)等效的電壓控制電流源與等效電阻并聯(lián)表示[3],Widlar型基準(zhǔn)電流源小信號(hào)模型如圖2所示。

    由于V2的電壓受自偏置結(jié)構(gòu)影響,內(nèi)部存在的反饋環(huán)路能夠保持電壓穩(wěn)定,從而由圖1電路可以得到一個(gè)穩(wěn)定電流。圖2中,g′m2為Q2和R的等效跨導(dǎo),R′為Q2和R的輸出電阻。由電路等效理論可知:

其中,由于分母是1減去環(huán)路增益,可得到該電路中存在的反饋為正反饋。理論上只有越小的環(huán)路增益才能獲得更小的閉環(huán)增益,根據(jù)上述理論分析,為了獲得具有高電源抑制能力的電流源且電路穩(wěn)定,本設(shè)計(jì)采取更改反饋屬性以增大環(huán)路增益。
1.2 高階曲率補(bǔ)償理論分析
    電流源溫度系數(shù)補(bǔ)償電路目前應(yīng)用較為廣泛的是利用Widlar核心電路產(chǎn)生PTAT電流,BJT的BE結(jié)產(chǎn)生負(fù)溫度系數(shù)電流,再由兩者互相補(bǔ)償,產(chǎn)生基準(zhǔn)電流Iref[4]。電流補(bǔ)償如圖3所示。

    BJT中BE結(jié)電流方程為:

2 具體電路實(shí)現(xiàn)
    圖4為基準(zhǔn)電流源設(shè)計(jì)電路。如不加說明,則認(rèn)為所有PMOS管襯底接電源電壓;所有NMOS管襯底接地電壓。圖中,C、D部分為基準(zhǔn)電流核心電路,C部分產(chǎn)生IPTAT。依據(jù)上述基準(zhǔn)電流源原理分析,在Widlar電流源框架下通過斷開Q1的二極管連接,加入運(yùn)算放大器并改變反饋屬性以提高反饋系數(shù)。為了降低電路的復(fù)雜度,加入單級(jí)差分運(yùn)放。D部分為產(chǎn)生IV和INL實(shí)現(xiàn)電路,

3 仿真與討論
    本文設(shè)計(jì)方案經(jīng)由SMIC 0.35 μm BICMOS工藝、Hspice驗(yàn)證仿真,Cscope圖形查看軟件綜合。
    圖5為Widlar型基準(zhǔn)電流源反饋環(huán)路不同增益下基準(zhǔn)電流PSRR曲線。由圖5可以看出,在反饋環(huán)電路中添加運(yùn)算放大器時(shí),PSRR為144.07 dB;未添加運(yùn)算放大器時(shí),PSRR為134.37 dB。

    圖6為基準(zhǔn)電流源溫度特性曲線。溫度變化范圍為-30 ℃~100 ℃,基準(zhǔn)電流平均值為15.394 μA,電流變化范圍為24.833 nA,基準(zhǔn)電流溫度系數(shù)為12.4 ppm/℃。

    將本文設(shè)計(jì)方案與部分參考文獻(xiàn)主要參數(shù)進(jìn)行比較,結(jié)果見表1[5-7]。從表1可見,該基準(zhǔn)電流源具備良好的性能指標(biāo),可應(yīng)用于MEMS傳感器系統(tǒng)的高PSRR和低溫度系數(shù)環(huán)境中。

   
參考文獻(xiàn)
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