熱超聲倒裝鍵合機視覺定位系統的設計與實現
所屬分類：技術論文
上傳者：aet
文檔大小：2405 K
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文檔介紹：通過對芯片熱超聲倒裝鍵合工藝過程的研究，結合國內外熱超聲倒裝鍵合設備發展的現狀，研制了一臺用于芯片的熱超聲倒裝鍵合機。
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