| ULSI熱分析中考慮通孔自熱效應(yīng)后的有效熱導(dǎo)系數(shù) | |
| 所屬分類：技術(shù)論文 | |
| 上傳者：aet | |
| 文檔大小：2325 K | |
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| 文檔介紹：研究了ULSI熱分析中考慮通孔自熱效應(yīng)后的有效熱導(dǎo)系數(shù)的理論模型，詳細(xì)計(jì)算了不同的通孔間距、通孔直徑、通孔高度以及金屬線寬對(duì)有效熱導(dǎo)系數(shù)的影響。結(jié)果表明，考慮通孔自熱效應(yīng)后，使有效熱導(dǎo)系數(shù)的計(jì)算更加符合實(shí)際情況，為進(jìn)一步分析USLI的熱學(xué)模型提供了理論依據(jù)。 | |
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