激光微加工系統及其控制單元的研究
所屬分類：技術論文
上傳者：aet
文檔大小：220 K
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文檔介紹：針對納秒脈沖激光微加工系統的發展,提出了一種集成圖形文件解析和高速運動控制的加工系統,包括控制單元、激光器、機械結構和光路系統.在介紹了各個部分的功能之后,重點分析了控制單元,包括上位機圖形解析平臺及以DSP和FPGA為核心的下位機控制硬件.通過實驗分析和算法優化,解決了加工誤差,在單晶硅表面得到了較好的微結構加工效果.
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