多路高精度擴散爐溫度控制系統的設計
所屬分類：技術論文
上傳者：aet
文檔大小：376 K
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文檔介紹： 針對傳統的擴散爐溫度控制系統的精度低、生產工藝控制能力差的現狀，設計實現了擴散爐多路高精度溫度檢測控制系統。系統采用三路熱電偶采集擴散爐內溫度值并通過基于Smith預估的PID控制，控制三組加熱裝置的啟停，以達到對爐溫的控制，控制精度可達1‰，并采用液晶顯示模塊和按鍵組成人機交互界面。
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