《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 模擬設計 > 新品快遞 > 摩爾定律聲聲喚 CMP制程再精進

摩爾定律聲聲喚 CMP制程再精進

2011-09-26
來源:Csia

  半導體元件若要追上摩爾定律速度,微縮制程就需要更新的技術相挺。化學材料與電子產品間的關系密不可分,美商陶氏化學旗下分公司陶氏電子材料的最新制程:化學機械研磨(CMP)銅制程,主訴求無研磨粒、自停(self-stopping)機制以及研磨墊,提供CMP銅制程高效能、低成本的解決方案。
  
  陶氏電子材料CMP研磨液研發總監余維中博士表示,一般含有研磨粒的研磨液,一般會形成erosion或刮痕(scratching),因此這次的產品研發過程中,力求將缺陷降到最低,以達成更高的良率。此外就成本考量,為了稀釋能力,減免研磨墊的清洗及研磨墊conditioning的減低。
  
  主要有三大技術優勢:首先,在不同的線寬與線譜密度下,均可產生low-dishing及no-erosion。其次,高銅研磨速率(highCurate)、晶圓表面銅的清除能力(clearing)、更具有對于阻絕層(barrierfilms)與介電層(dielectricfilms)的極高選擇比;此外,高良率、嚴格的Rs控制、高產能、以及寬大的制程窗口也是優勢之一。
  
  陶氏電子是于1897年在美國密西根州創立,1968年在臺灣成立臺北辦事處,目前在臺灣還有四個生產基地分別位于桃園、新竹竹南、南投南崗以及嘉義民雄;另于屏東有一陶氏益農試驗中心。2009年,陶氏電子并購RohmHaas后,臺灣陶氏開始轉型,偏重特殊與功能材料,快速進入電子材料市場。綜觀全球市場,大中華區是陶氏全球第二大市場,總投資9億美元,去年共銷售40.2億美元。目前,臺灣區電子材料部分銷售比最高者為半導體材料如研磨液、碳棒…等;印刷電路板居次。
  
  

本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
主站蜘蛛池模板: 大又大又粗又硬又爽少妇毛片| 最猛91大神ben与女教师| 啊灬啊别停灬用力啊公阅读| se94se欧美综合色| 精品一区二区三区免费视频| 国产亚洲欧美日韩亚洲中文色| 欧美日韩一区二区三区麻豆| 国产精品综合在线| 999久久久免费精品播放| 好男人影视在线WWW官网| 中文字幕不卡免费高清视频| 日韩第一页在线| 成人小视频免费在线观看| 婷婷五月综合色中文字幕| 国产麻豆流白浆在线观看 | 日韩无套内射视频6| 日本哺乳期网站xxxx| 永久黄色免费网站| 曰批视频免费30分钟成人| 日本久久综合网| 成人乱码一区二区三区AV| 天海翼大乱欲在线观看| 国产精品xxxx国产喷水| 国产一卡2卡3卡4卡网站免费| 午夜宅男在线永久免费观看网 | 国产日韩在线观看视频网站| 国产亚AV手机在线观看| 全免费A级毛片免费看网站| 亚洲日韩一页精品发布| 久久国产精品99精品国产| x8x8在线观看| 8x国产在线观看| 黄网站免费观看| 精品国产一二三区在线影院| 欧美日韩国产在线人成| 日韩在线播放全免费| 寂寞山村恋瘦子的床全在线阅读| 国产欧美日韩va| 又爽又黄又无遮挡网站| 人人草在线视频| 亚洲综合小视频|