開發(fā)出了可測定為原來1/1000以下的微小水蒸氣透過率的高性能標準氣密薄膜。該氣密薄膜將成為對有機EL顯示器及有機太陽能電池等廣泛使用的高阻隔薄膜實施評測的標準，有望為這些產(chǎn)品的品質(zhì)管理及長壽命化做出貢獻。

　　此次開發(fā)的標準氣密薄膜的照片（左）和示意圖（右）（圖片出處：產(chǎn)綜研新聞發(fā)布資料） （點擊放大）

　　標準氣密薄膜的水蒸氣透過率確認實驗結(jié)果（圖片出處：產(chǎn)綜研新聞發(fā)布資料） （點擊放大）

　　在有機EL顯示器及有機EL照明中，穿透過塑料薄膜的水蒸氣及氧會使有機EL發(fā)生劣化，導致無法確保產(chǎn)品壽命。另外，有機太陽能電池等其他有機電子裝置也存在由相同原因?qū)е碌男阅芰踊瘑栴}。

　　對此，研究人員開始嘗試在塑料薄膜上涂裝可使水蒸氣及氧化無法透過的高阻隔層來防止劣化。高阻隔層要求具備水蒸氣透過率為10-6g m-2day-1的高阻隔性能，而以前并沒有達到這一水平的標準氣密薄膜，因此氣密性評測裝置的測定值存在可靠性問題。

　　產(chǎn)綜研此次以其開發(fā)的以粘土為主要成分的阻隔薄膜“Claist”為基礎，制造出了標準氣密薄膜。在填充粘土結(jié)晶間的粘合劑方面使用聚酰亞胺，在溫度40度、相對濕度90％的條件下實施調(diào)整，以使水蒸氣透過率達到2.0×10-3g m-2day-1。通過熱沖壓將達到這一水平的Claist直接接合到帶有空洞的不銹鋼薄板上，以防止水蒸氣從接合面泄漏。

　　在設計上設想將不銹鋼薄板的空洞孔徑設定為20mm、6.5mm、3.5mm，分別制成1.0×10-4g m-2 day-1、1.1×10-5g m-2 day-1、3.1×10-6g m-2 day-1的標準氣密薄膜。實際制作的標準氣密薄膜利用基于差壓式質(zhì)量分析法的氣密性評測裝置實施了檢測，結(jié)果證實水蒸氣透過率與設計值一致。

　　此次開發(fā)的標準氣密薄膜可裝在其他多種氣密性評測裝置的試樣架上，今后還將在試樣架條件下實施比較實驗，以確認是否也能夠獲得相同的結(jié)果。另外，產(chǎn)綜研還預定建立能夠?qū)勺匪輫覙藴实臉藴蕷饷鼙∧嵤┕捏w制。