IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院深入合作推動(dòng)MEMS工藝技術(shù)持續(xù)發(fā)展

　　美國(guó)加利福尼亞州圣巴巴拉市及中國(guó)北京，2016年12月8日 — 美國(guó)最大的MEMS 技術(shù)和制造服務(wù)提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的三位學(xué)生頒發(fā)了2016年度MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，以獎(jiǎng)勵(lì)他們?cè)贛EMS工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)領(lǐng)域的杰出成就。這次頒獎(jiǎng)也標(biāo)志著IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院開(kāi)展戰(zhàn)略合作已滿一周年。該獎(jiǎng)學(xué)金已為MEMS器件制造工藝技術(shù)及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的基礎(chǔ)研究提供了支持，接下來(lái)將繼續(xù)推動(dòng)MEMS技術(shù)的創(chuàng)新，并將在全球范圍內(nèi)為人才培養(yǎng)提供幫助。

　　在對(duì)所有申請(qǐng)獎(jiǎng)學(xué)金的候選人進(jìn)行大量評(píng)估和答辯后，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院將獎(jiǎng)學(xué)金授予了三位學(xué)生。2016年度獎(jiǎng)學(xué)金的獲得者是程曉亮、毛逸飛和張立。這三位IMT獎(jiǎng)學(xué)金獲得者的研究方向分別為使用碳氟等離子體的無(wú)掩膜皺紋結(jié)構(gòu)的可控制造，聚焦離子束應(yīng)力引入技術(shù)，以及SOG（Silicon On Glass）工藝質(zhì)量監(jiān)控和工藝相關(guān)參數(shù)提取。他們的研究成果在MEMS工藝技術(shù)方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應(yīng)用中具有發(fā)展?jié)摿颓熬啊?/p>

　　MEMS已經(jīng)成為了一項(xiàng)關(guān)鍵的技術(shù)，被用來(lái)應(yīng)對(duì)物聯(lián)網(wǎng)、智能化和生物技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)快速發(fā)展的技術(shù)和應(yīng)用。MEMS技術(shù)持續(xù)演進(jìn)，推動(dòng)了器件制造工藝、新材料及封裝等方面的創(chuàng)新，以滿足未來(lái)的需求。在當(dāng)今的電子系統(tǒng)中，MEMS已經(jīng)作為一種整合技術(shù)出現(xiàn)在諸多不同的應(yīng)用中，例如無(wú)人駕駛設(shè)備、智能電話、可穿戴電子產(chǎn)品、細(xì)胞計(jì)數(shù)器和機(jī)器人等等應(yīng)用，新型的MEMS器件正在被快速地開(kāi)發(fā)并推出。MEMS技術(shù)的拓展及其發(fā)展前景不但激勵(lì)著IMT 和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院等領(lǐng)先的制造與研究機(jī)構(gòu)去自發(fā)地推動(dòng)MEMS技術(shù)的先進(jìn)研究和開(kāi)發(fā)，同時(shí)也促動(dòng)他們與行業(yè)中志同道合的伙伴積極開(kāi)展合作。

　　2015年，IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院簽署戰(zhàn)略合作伙伴協(xié)議，旨在通過(guò)攜手合作加快MEMS技術(shù)在中國(guó)和美國(guó)的發(fā)展。作為該協(xié)議的一部分，IMT在MEMS研究和開(kāi)發(fā)領(lǐng)域設(shè)立了專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，每年向北京大學(xué)的三名（個(gè)）學(xué)生個(gè)人或團(tuán)隊(duì)提供獎(jiǎng)學(xué)金。該獎(jiǎng)學(xué)金鼓勵(lì)創(chuàng)新，并有助于在通信、人類健康、農(nóng)業(yè)優(yōu)化和可再生能源等眾多領(lǐng)域中展現(xiàn)出MEMS制造的優(yōu)勢(shì)。該獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃是首項(xiàng)在中國(guó)專門(mén)針對(duì)MEMS制造工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)而設(shè)立的獎(jiǎng)學(xué)金。

　　“很高興能夠代表IMT再一次為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的優(yōu)秀學(xué)生頒發(fā)我們的年度專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，今年同學(xué)們提交的所有論文都以極高的質(zhì)量和創(chuàng)新給我們留下了深刻的印象，也反映了該院在MEMS技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)又取得了許多技術(shù)進(jìn)步和突破，”IMT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示。“自2015年IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院形成戰(zhàn)略關(guān)系以來(lái)，雙方在開(kāi)發(fā)新的MEMS制造工藝及技術(shù)方面展開(kāi)了合作并已經(jīng)從中獲益。這將為IMT利用自己全球領(lǐng)先的 MEMS 器件加工技術(shù)服務(wù)中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)帶來(lái)新的機(jī)會(huì)。兩個(gè)組織擁有一個(gè)共同的目標(biāo)，即通過(guò)基于MEMS的技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)及其他新興技術(shù)的快速發(fā)展。”

　　“在過(guò)去的兩年中，IMT-北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃已經(jīng)獎(jiǎng)勵(lì)了5位學(xué)生和1個(gè)學(xué)生團(tuán)隊(duì)。同學(xué)們的研究為MEMS工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)和制造帶來(lái)了真實(shí)的貢獻(xiàn)。該獎(jiǎng)學(xué)金為其他青年才俊開(kāi)啟了一扇大門(mén)，有助于擴(kuò)展他們的視野，并使他們致力于創(chuàng)新以邁向新一代MEMS技術(shù)。”北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院李志宏教授表示，“我們與IMT之間的合作伙伴關(guān)系，以及其他類似的行業(yè)合作，對(duì)于持續(xù)創(chuàng)新而言都是至關(guān)重要的。”