《電子技術(shù)應(yīng)用》
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Mentor 宣布推出適用于三星 8LPP 和 7LPP 工藝技術(shù)的 工具和流程

2017-06-03
關(guān)鍵詞: siemens 三星電子 8LPP工藝 DRC

  Siemens 業(yè)務(wù)部門 Mentor 今天宣布,已與三星電子合作推出各種適用于三星 8LPP 工藝技術(shù)的 Mentor 設(shè)計(jì)和驗(yàn)證工具及流程。在 EUV 光刻時(shí)代到來之前,最具競爭力的擴(kuò)展優(yōu)勢將源于 8LPP。相較于 10LPP 工藝,8LPP 的性能實(shí)現(xiàn)了進(jìn)一步提升。針對 8LPP 推出的工具包括 Calibre 物理驗(yàn)證套件、Mentor Analog FastSPICE (AFS) 定制和模擬/混合信號 (AMS) 電路驗(yàn)證平臺,以及 Nitro-SoC 布局和布線 (P&R) 電子設(shè)計(jì)平臺。這些 Mentor 解決方案可用于三星 8LPP 工藝技術(shù)生產(chǎn)流片的設(shè)計(jì)和 Sign-off。

  此外,Calibre 套件的核心模塊現(xiàn)可支持使用 EUV 光刻的 7LPP 工藝技術(shù),其中包括 Calibre nmDRC、Calibre nmLVS、Calibre xACT 和 Calibre PERC 軟件。這些 Calibre 設(shè)計(jì)套件可用于三星 7LPP 工藝技術(shù)的初始測試芯片和知識產(chǎn)權(quán) (IP) 創(chuàng)建。

  “三星代工廠將一如既往地提供業(yè)界最具競爭力的工藝技術(shù)。我們與 Mentor 之間的協(xié)作可確保推出合格的工具,從而讓我們的共同客戶能夠充分利用三星代工廠的工藝產(chǎn)品,并開發(fā)出卓越的設(shè)計(jì),”三星電子代工廠設(shè)計(jì)部門高級副總裁 Jaehong Park 說道。“Mentor 推出適用于 8LPP 和 7LPP 的工具,是我們雙方長期合作關(guān)系的有力佐證,并且我們將繼續(xù)攜手共進(jìn),力爭讓設(shè)計(jì)人員可以胸有成竹地實(shí)施、驗(yàn)證、測試和交付設(shè)計(jì)。”

  業(yè)界領(lǐng)先的 Calibre 平臺中已涵蓋多種適用于 8LPP 工藝技術(shù)的工具,三星也已經(jīng)開始啟用這些工具,以此確保設(shè)計(jì)人員能夠快速從容地成功完成流片。

  ·Calibre nmDRC 和 Calibre nmLVS 工具可幫助設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)驗(yàn)證和優(yōu)化其設(shè)計(jì),以滿足三星 8LPP 工藝要求。這兩種工具提供了準(zhǔn)確的創(chuàng)新型物理和電路驗(yàn)證功能,可應(yīng)對日益增長的版圖復(fù)雜性和嚴(yán)苛的先進(jìn)節(jié)點(diǎn)設(shè)計(jì)性能要求。

  ·Calibre Pattern Matching 功能可以讓設(shè)計(jì)人員應(yīng)用各種可視性幾何圖形分析,快速準(zhǔn)確地執(zhí)行復(fù)雜的驗(yàn)證任務(wù),例如跨多個(gè)實(shí)例且對配置有精確要求的驗(yàn)證,以及光刻熱點(diǎn)識別。

  ·Calibre xACT 平臺提供了無可匹敵的寄生參數(shù)提取精度和性能,可自動使用集成的場解算器來計(jì)算(以阿托法拉級的精度)復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)的寄生參數(shù),同時(shí)采取可高度擴(kuò)展的并行處理方法為包含數(shù)百萬實(shí)例的設(shè)計(jì)優(yōu)化性能。

  ·Calibre PERC 可靠性平臺采用獨(dú)特集成的方法對物理版圖和網(wǎng)表進(jìn)行分析,從而自動進(jìn)行復(fù)雜的可靠性檢查。

  ·Calibre YieldEnhancer 產(chǎn)品,特別是其 SmartFill 和工程變更單 (ECO)/Timing-Aware Fill 功能,可幫助設(shè)計(jì)人員通過知識產(chǎn)權(quán) (IP)、模塊和全芯片之間的多項(xiàng)設(shè)計(jì)變更來控制設(shè)計(jì)平坦度,從而確保設(shè)計(jì)能夠滿足制造工藝平坦化要求,并符合流片排程。它還可以使設(shè)計(jì)人員能夠應(yīng)用版圖布局的增強(qiáng)功能(例如通孔優(yōu)化),進(jìn)而提高制造的成功率。

  ·Calibre LFD? 工具,基于 Mentor 的工藝窗口建模、掩膜合成、光學(xué)鄰近效應(yīng)修正 (OPC) 和分辨率增強(qiáng) (RET) 的生產(chǎn)部署解決方案,可準(zhǔn)確地對光刻工藝的影響進(jìn)行建模,從而預(yù)測實(shí)際“已制造好的”版圖尺寸,識別潛在光刻問題,以及幫助設(shè)計(jì)人員優(yōu)化良率和產(chǎn)品可靠性。

  ·由于設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)可同時(shí)處理多個(gè)可制造性設(shè)計(jì) (DFM) 方案,因此他們可使用配有 Calibre YieldAnalyzer 工具的三星 DFM 評分和分析解決方案來簡化折衷決策流程,例如通孔冗余檢查。此外,三星還支持整合 Calibre Pattern Matching 解決方案的良率減損圖形識別和修正,以便提供從制造成果到客戶設(shè)計(jì)流程的快速反饋。為了進(jìn)一步確保客戶能夠快速找到 DFM 問題并予以解決,Mentor 和三星還宣布推出 Calibre DFM Explorer 功能。

  為了讓片上系統(tǒng) (SoC) 設(shè)計(jì)人員能夠胸有成竹地完成電路驗(yàn)證、物理實(shí)現(xiàn)和 IC 測試,三星在其 8LPP 設(shè)備模型和設(shè)計(jì)套件中啟用了 AFS 平臺。我們的共同客戶依靠 AFS 平臺,在驗(yàn)證模擬、射頻、混合信號、內(nèi)存和定制數(shù)字電路上,提供比傳統(tǒng) SPICE 仿真器速度更快的納米級 SPICE 精度驗(yàn)證。

  Nitro-SoC P&R 系統(tǒng)支持在三星 8LPP 工藝技術(shù)中進(jìn)行網(wǎng)表到 GDSII 的物理實(shí)現(xiàn)。這個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)支持各種創(chuàng)新型技術(shù),包括多重曝光布線層的高級設(shè)計(jì)規(guī)則檢查 (DRC) 規(guī)避、收斂時(shí)序的掩膜和層優(yōu)化,以及智能庫管腳接入功能,因此可獲得優(yōu)化的功率/性能/占位面積 (PPA) 結(jié)果。客戶能夠獲取各種功能,包括基于多拐角多模式 (MCMM) 的占位面積優(yōu)化、基于多 VDD 的全面低功率流程、與 Calibre Sign-off 的本機(jī)集成,以及可縮短周轉(zhuǎn)時(shí)間的全面并行化。

  “我們與三星代工廠的合作并不僅僅是為了提供符合最低要求的工具,”Mentor Design-to-Silicon 事業(yè)部副總裁兼總經(jīng)理 Joe Sawicki 說道。“我們聯(lián)合推出的解決方案還可讓我們的共同客戶充分利用三星的工藝產(chǎn)品,以在初始流片和硅生產(chǎn)兩方面獲得成功,從而在無晶圓廠公司和三星代工廠之間架起至關(guān)重要的連接橋梁。”


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