《電子技術(shù)應(yīng)用》
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晶體管是怎樣制造出來的

2017-10-16
關(guān)鍵詞: 晶體管 元器件

       前段時間有人問我,晶體管是什么?它又是怎樣制造出來的?這讓我一時難以回答。因為要回答的這個問題有些復(fù)雜,今天我們就來談?wù)勈裁词蔷w管,晶體管又是怎么制造出來的。

       晶體管是二極管、三極管、場效應(yīng)管等元器件的統(tǒng)稱。它是一種用來對電路信號進行處理的元件,當然電路光有晶體管不行,還得要其他元件配合才能完成一定的電路功能。下面我就來談?wù)劸w管的制造過程:

      半導(dǎo)體

      所謂半導(dǎo)體,它指的是一種導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的一種物質(zhì)。不過實際上,我們需要的半導(dǎo)體卻并不是單純指的不太導(dǎo)電的半物體。象那種在絕緣體里摻有導(dǎo)電物質(zhì)的半物質(zhì),是不能拿來做晶體管的。用來制造晶體管和集成電路的半導(dǎo)體,主要是指碳族元素。比如:硅和鍺。硅和鍺是制作半導(dǎo)體的一種最重要的材料。此外,砷化鎵、磷化鎵、硫化鎘、硫化鋅以及一些金屬的化合物等都是半導(dǎo)體。不過用途最廣的還是硅半導(dǎo)體。今天就以硅半導(dǎo)體為例,來討論一下晶體管的原理和制造過程。

        碳簇元素

        碳簇元素在元素周期表中屬第四主族元素,該族元素的最外層都有四個電子。根據(jù)研究發(fā)現(xiàn),原子最外層電子數(shù)最多為8個。并且最外層電子數(shù)為8個時,原子達到最穩(wěn)定狀態(tài)。元素周期表中的第八主族元素最外層電子數(shù)就是8個,所以這第八主族的元素都屬于隋性元素。而如果原子的最外層電子數(shù)少于4個,那這種原子就比較容易失去電子達到穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。并且電子數(shù)越少,就越容易失去最外層電子。而如果某原子的最外層電子數(shù)大于5個,則這種原子就容易得到電子達到穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。并且,最外層電子數(shù)越多(5-7個),則越容得到電子達到穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。而碳簇元素則是一種最為特殊的元素,它的最外層電子數(shù)為4個。它們二個原子之間,采用將八個電子為二個原子共有的結(jié)構(gòu)。這個結(jié)構(gòu),我們稱之為共用電子對。這也是一種相對比較穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。

        硅的冶煉

        硅是一種最重要的半導(dǎo)體材料,我們平常用的晶體管及各種集成電路,基本上都是用硅做為主要材料制造的,CPU當然也不例外。硅元素是世界上含量最多的元素之一,它在地殼中的含量為26.30%,僅次于氧(48.60%,也有人認為是48.06%),排列第二名。平常我們看到的水泥、泥土、砂子、石頭、石英等都是硅的化合物。

       雖然硅的化合物腳底下就是,但用來冶煉單晶硅卻并不會用泥土來冶煉。其原因很簡單,一方面我們需用的單晶硅量不是很大,我們不需要用遍地都是的泥土來冶煉。另一方面,泥土中所含的其他雜質(zhì)多,而且用泥土冶煉單晶硅工藝復(fù)雜,提純困難。所以一般工業(yè)上都采用石英砂及石英來冶煉單晶硅。我們平常在河邊看到的那種白色半透明的石頭就是石英,石英的主要成份是二氧化硅。

        硅的冶煉分為粗煉與精煉:粗煉方法用的是還原法。主要采用大功率電爐將石英、石油焦和煙煤放在爐內(nèi)進行冶煉。反應(yīng)方程式: SiO2 + 2C → Si + 2CO↑,其中碳的來源主要為石油焦和煙煤。具體冶煉方法這里就不介紹了,有興趣的朋友可以參考與之相關(guān)的文章。

       硅的精煉:用還原法生產(chǎn)的硅,一般純度都不高,只能用于一般的工業(yè)用硅。為了讓硅達到電子級別的高純度硅,還需進一步提純。目前用于集成電路的單晶硅主要采用化學(xué)方法,如西門子法(三氯氫硅還原法),就是其中的一種主要方法。這種方法是鹽酸(HCl)與經(jīng)過研磨的粗硅在高溫下進行反應(yīng),生成SiHCI3,然后再對形成的SiHCI3進行化學(xué)提純,最后達到電子級多晶硅。硅的提純原理并不是很復(fù)雜,但由于電子級別的硅對純度要求極高,目前要求的單晶純度為99.999999999%~99.99999999999%。因此,硅的整個提純過程是非常復(fù)雜的。

        經(jīng)過化學(xué)方法提純,硅的純度問題解決了,但這還不是單晶硅,要讓硅(多晶硅及無定形硅)變?yōu)閱尉Ч柽€需要用一些特殊方法。目前采用的方法有直拉法(CZ)、懸浮區(qū)熔法(FZ)和外延法。限于篇幅,在這里我就不再介紹了。

        單晶硅的成品一般都是圓柱形,圓柱形的單晶硅經(jīng)過切片后,就是制造集成電路及晶體管的原料了。也正因為單晶硅的形狀是圓形,所以也叫晶圓。

       晶圓之所以制成圓柱形,是因為單晶硅是用多晶硅或無定向硅在熔融狀態(tài)下“拉”出來的。而拉出來的單晶硅由于物質(zhì)本身張力關(guān)系,自然就會形成圓柱形,就象讓一滴水讓它自由落下時,不管它在落下前是什么形狀,但在空中經(jīng)過一段時間后就會變成圓球形。多晶體在拉成單晶硅的過程中也一樣,它在拉的過程中自然而然就就會變成圓柱形。雖然將單晶硅拉成方形,利用率可能會更高,但目前還沒有什么好方法。其實最重要的原因,我想還是沒有這個必要吧,因為,晶圓的邊角料還可以用來制造其他的產(chǎn)品。

        滲透原理

        為了說清二極管和三極管原理,我們先來做一個實驗。在一瓶水中滴入一滴墨水,即使我們不再攪動它,經(jīng)過一段時間的放置,整瓶水也會全部變成墨水的顏色。這是因為在流體中,物質(zhì)高濃度高的一方總是會向著物質(zhì)低濃度的一方進行滲透擴散。在水中,墨水的濃度是低濃度,而水的濃度為高濃度,所以水就往墨水中滲透。而在墨水中,水的濃度是低濃度,墨水的濃度為高濃度,所以墨水就往水中滲透。

        摻雜

        經(jīng)過切片后的單晶硅并不是接上線就能成為集成電路和三極管的,而是要經(jīng)過很多個工序才能最終完成。第一道工序就是摻雜,也許你要懷疑我是不是說錯了?好不容易將硅提純到世界上最純的單質(zhì),現(xiàn)在竟要摻入雜質(zhì)?我沒說錯,事實確實如此。為了制成二極管、三極管,摻雜是絕對必要的。現(xiàn)在我們就來看下二極管、三極管是怎么做成的。

        PN結(jié)

       上面說過經(jīng)過切片后的單晶硅需要摻入雜質(zhì),但雜質(zhì)不等同于垃圾,此雜質(zhì)也非單晶硅提純前的彼雜質(zhì)。用于二極管、三極管集成電路的單晶硅,摻入的是高純度單質(zhì)磷和高純度的單質(zhì)硼。摻雜的方法目前普遍用的是擴散法,摻雜的量也是需要嚴格控制的,不能多也不能少。否則就會影響元件的性能,甚至成為廢品。

        在一塊單晶硅摻入磷(當然也可摻入砷等其他五價元素)后,就形成了N型半導(dǎo)體。由于磷是五價的,也就是說磷原子的最外層有五個電子。這五個電子跟相鄰的硅原子最外層的四個電子形成共價鍵后,還多一個電子,而這個多出來的電子與磷原子和硅原子的結(jié)合力就會弱很多。所以,這個多出來的電子就成為比較容易移動的“自由電子”。這樣一來,這塊半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能就大大地增強了。我們再用相同的方法,在另一塊單晶硅中摻入三價的硼原子,摻有硼原子的半導(dǎo)體就是P型半導(dǎo)體。由于P型半導(dǎo)體中的硼原子最外層只有三個電子,這三個電子與相鄰的硅原子形成共價鍵時少一個電子。這樣,這個原子就形成了一個空穴,而這個空穴容易從其他原子中得到一個電子。但這樣失去電子的原子又形成了空穴,這樣,這些空穴也跟自由電子一樣變成了一個“自由空穴”。

       二極管

       將上面P型半導(dǎo)體與N型半導(dǎo)體合在一起,就形成了一個PN結(jié),將這個PN結(jié)加上引線(歐姆接觸)就形成了一個二極管。

       二極管的工作原理

      當P型半導(dǎo)體與N型半導(dǎo)體合在一起時(參看圖1),由于P型半導(dǎo)體中存在很多空穴,而N型半導(dǎo)體中有很多自由電子。當它們結(jié)合在一起時,N型半導(dǎo)體中的電子濃度高。根據(jù)滲透原理,N型半導(dǎo)體中的電子就會向P型半導(dǎo)體中擴散。擴散的結(jié)果就是原本不帶電的N型半導(dǎo)體帶上了正電,而原本不帶電的P型半導(dǎo)體帶上了負電(如圖2)。帶電的結(jié)果,就使得這個PN結(jié)之間形成了電場。正是由于這個電場的存在,使得電子的擴撒運動不斷減緩(同性相引,異性相斥)。這樣擴散運動經(jīng)過一段時間后就會停止,當然實際上并不是完全停止,而是仍有一極少量的電子繼續(xù)擴散。這是因為,在P半導(dǎo)體中與N型半導(dǎo)體結(jié)合的邊緣,由于受到熱運動和各種射線(包括各種可見光線)的影響,使得P半導(dǎo)體內(nèi)部的少量電子,被加速后逃離原位置而進入電場中。進入電場中的電子受到電場的作用使得電子向N型半導(dǎo)體方向移動,我們把這種電子運動稱之為漂移運動,而漂移移動的結(jié)果又使得擴散運動得以繼續(xù)進行。當電子的擴散運動與電子的漂移動達到動態(tài)平衡時,就處于穩(wěn)定狀態(tài)。由于漂移運動是P型半導(dǎo)體中的少數(shù)載流子,所以由漂移形成的電流是很小的。什么是少數(shù)載流子?所謂的少數(shù)載流子就是指如果在這塊半導(dǎo)體中主要靠電子運動形成電流的(如N型半導(dǎo)體),那這塊半導(dǎo)體中電子就是多數(shù)載流體,而空穴就是少數(shù)載流子,反之則反。

        二極管的單向?qū)щ娦?/p>

        用上面方法制成的二極管,具有單向?qū)щ娦裕@種特性使得通過二極管電流只能向一個方向流動。
        下面我們來分析二極管的單向?qū)щ娫?/strong>

        參見(圖2)當P型半導(dǎo)體接上負載后與電源的正極相連,N型半導(dǎo)體與電源的負極相連時。電源負極中的電子在電源的作用下,流向N型半導(dǎo)體并與N型半導(dǎo)中的正離子復(fù)合。同樣,P型半導(dǎo)體中的電子,在電源的作用下,流向電源正極,與電源內(nèi)部的正離子復(fù)合。這樣半導(dǎo)體PN結(jié)的內(nèi)部的電子、離子經(jīng)過復(fù)合后,其內(nèi)部的空穴、電子濃度又增加了。濃度增加的結(jié)果使得擴散運動又繼續(xù)進行,這時半體導(dǎo)就處于導(dǎo)通狀態(tài)。

       當N型半導(dǎo)體接上負載后接電源的正極,P型半導(dǎo)體接上負載后接電源負極,情況又是怎樣的呢?在P型半導(dǎo)體中,電源的電子通過電極與P型半導(dǎo)體的原子型成了共介鍵。而N型半導(dǎo)體同樣也會因失去電子而形成共介鍵,這樣就相當于整個PN結(jié)變厚。變厚的PN結(jié)對電子的流動具有阻擋作用。在正常電壓下,電源的電子是無法通過增厚后的PN結(jié)的。因此,可以說這時的PN結(jié)是不導(dǎo)通的。不過,由于熱運動射線等影響,PN結(jié)還是會有一個極小的電流產(chǎn)生。這個電流就是反向電流,一般反向電流很小,正常情況下可以忽略不計。

       三極管

       三極管的結(jié)構(gòu)實際上就相當于二個背靠背二極管(如圖),不過用二個背靠背的二極管

       是不能當成三極管使用的。這是因為,三極管內(nèi)部的結(jié)構(gòu)與二個背靠背的二極管還是有區(qū)別的。我們再來看一下三極管是怎樣工作的:

       要使三極管能夠正常工作,就必須正確地連接其電路。上圖就是一個三極管放大電路的基本原理圖。圖中如果EB電壓為0時,三極管則處于截止狀態(tài)。因為,這時C區(qū)與B區(qū)的PN結(jié)處于反偏狀態(tài)(跟上面二極原理相同)。當EB加上合適電壓后,由于E區(qū)和B區(qū)的PN結(jié)處于正向偏置,這時PN結(jié)處于導(dǎo)通狀態(tài)。導(dǎo)通后的PN結(jié)E區(qū)的電子就會不斷地擴散到B區(qū),由于三極管在制造時,把B區(qū)造得很薄,這樣擴散到B區(qū)的電子就很容易擴散到C區(qū)邊緣,而擴散到C區(qū)邊緣的電子就會在C極電源的作用下形成電流,這時三極管的EC極就處于導(dǎo)通狀態(tài)。另外由于BE結(jié)及CE結(jié)的接觸面較大,因此CE區(qū)形成的電流也較大。這就是三極管的放大原理。上面說的就是NPN型三極管,除NPN型三極管之外,還有PNP型三極管,它們的原理都是相同的,這里就不再重復(fù)了。

       場效應(yīng)管

       場效應(yīng)管也屬于晶體管一類,只是場效應(yīng)管與上面所說的NPN型和PNP型三極管略有不同,NPN型和PNP型三極管屬于雙極晶體管,而場效應(yīng)管屬單極型晶體管。限于篇幅關(guān)系,這里我就不再多說了。

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