《電子技術應用》
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碳化硅與氮化鎵的優點與不足

2018-09-28

  半導體是一種介于導體與絕緣體之間的材料,它具有導電性可控的特點。當半導體受外界光和熱的刺激時,其導電能力將會有顯著變化,在純凈半導體中加入微量雜質,其導電能力會急劇增強。自科學家法拉第發現硫化銀以來,半導體材料硅、鍺、硼、銻、碳化硅氮化鎵等相繼被發現與應用。

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  我們生活的方方面面都離不開半導體技術,電器、燈光、手機、電腦、電子設備等都需要半導體材料制造,碳化硅(SIC)與氮化鎵(GaN)屬于第三代半導體材料,有著非常廣闊的應用前景。

  碳化硅與氮化鎵的優點與不足

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  碳化硅與氮化鎵均屬于寬禁帶半導體材料,它們具有禁帶寬度大、電子漂移飽和速度高、介電常數小、導電性能好的特點。隨著市場對半導體器件微型化、導熱性的高要求,這類材料的市場需求暴漲,適用于制作抗輻射、高頻、大功率和高密度集成的電子器件。

  碳化硅又叫金剛砂,是用石英砂、石油焦、木屑等原料通過電阻爐高溫冶煉而成。碳化硅在大自然也存在罕見的礦物——莫桑石,在當代C、N、B等非氧化物高技術耐火原料中,碳化硅為應用最廣泛、最經濟的一種。目前我國工業生產的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體。

  氮化鎵是氮和鎵的化合物,是一種直接能隙的半導體,該化合物結構類似纖鋅礦,硬度很高。氮化鎵的能隙很寬,為3.4電子伏特,可以用在高功率、高速的光電元件中,如氮化鎵可以用在紫光的激光二極管,可以在不使用非線性半導體泵浦固體激光器的條件下,產生紫光激光。

  碳化硅與氮化鎵的應用領域和難點

  碳化硅是當前發展最成熟的寬禁帶半導體材料,世界各國對碳化硅的研究很重視,美歐日等不僅從國家層面上制定了相應的研究規劃,碳化硅材料可應用于功能陶瓷、耐火材料、冶金原料等應用領域。

  碳化硅器件的發展難題不是設計難題,而是實現芯片結構的制作工藝,如碳化硅晶片的微管缺陷密度、外延工藝效率低、摻雜工藝的特殊要求、配套材料的耐溫等。

  氮化鎵是研制微電子器件、光電子器件的新型半導體材料,在光電子、激光器、高溫大功率器件和高頻微波器件應用方面有著廣闊的前景。

  氮化鎵材料的發展難題一是如何獲得高質量、大尺寸的GaN籽晶,因為直接采用氨熱方法培育一個兩英寸的籽晶需要幾年時間,二是氮化鎵產業鏈尚未完全形成。

  總結:隨著國家對第三代半導體材料的重視,近年來,我國半導體材料市場發展迅速。其中以碳化硅與氮化鎵為主的材料備受關注。盡管如此,但產業難題仍待解決,如我國材料的制造工藝和質量并未達到世界頂級,材料制造設備依賴于進口嚴重,碳化硅與氮化鎵材料和器件方面產業鏈尚未形成等,這些問題需逐步解決,方可讓國產半導體材料屹立于世界頂尖行列。


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