據(jù)臺灣《經(jīng)濟(jì)日報》消息，臺積電3nm工廠通過臺灣環(huán)保署的環(huán)境評測環(huán)評大會。依據(jù)原定時程，全球第一座3nm廠有望在2020年動工，最快2022年底實現(xiàn)量產(chǎn)。
目前臺積電的7nm工藝已經(jīng)量產(chǎn)，臺積電計劃2019年投產(chǎn)改進(jìn)版本，將首次使用EUV極紫外光刻技術(shù)。此外，5nm工藝 將在2019年第一季度投入風(fēng)險性試產(chǎn)，量產(chǎn)時間未定，估計也就在2019年年內(nèi)。
臺積電表示，5nm會在臺灣南部科技園(STSP)的工廠里投產(chǎn)，但后續(xù)產(chǎn)能擴(kuò)充仍要視環(huán)境評估而定。
而對于3nm工藝，但工廠的選址一直懸而未決。
自從2016年臺積電宣佈將發(fā)展3nm制程后，已經(jīng)投入了數(shù)百名工程師。不過，對于3nm工廠的選址問題，臺積電便一直在評估，甚至將美國納入考慮。隨后在臺灣政府承諾解決水電等相關(guān)問題后，也考量到對臺灣經(jīng)濟(jì)的重要性，臺積電最后終于宣布將新廠將落腳在臺灣的南部科學(xué)工業(yè)園區(qū)臺南園區(qū)。
臺積電對3nm量產(chǎn)時程一直保密，除了防止對手三星加快投資腳步，也是因為環(huán)評案未過關(guān)，避免橫生波折，如今隨著3nm環(huán)評案通過，讓臺積電可以順利興建晶圓18廠第四到六期新廠。
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