當季賣出60臺光刻機，凈賺87億元

10月14日，光刻機霸主——荷蘭阿斯麥（ASML）公司發布了最新財務報告，數據統計顯示，第三季度ASML當季實現營收40億歐元，凈利潤高達11億歐元（約合87億元人民幣）。

2020年前三季度，ASML總共實現凈銷售額97．24億歐元，較去年同期77．83億歐元提高近25％；凈利潤22．03億歐元同樣大幅提升51％。ASML預估四季度的收入在36到38億歐元，毛利率50％左右，2020全年的營收應該至少能達到133億歐元。

據悉，第三季出售的60臺光刻機為公司提供了近31億歐元的營收，其中有14臺是EUV光刻機，數量占比約23％，但卻提供了66％的營收，從而也足以見得EUV光刻機的重要程度。

這60臺光刻機都賣給了誰？臺積電拿下了將近一半數量，剩下的則賣給了三星、英特爾這些企業。從地區上來看，中國臺灣貢獻了光刻機收入的47％，韓國貢獻了26％，中國大陸企業貢獻了21％。

光刻機到底能不能賣給中國？回應：可以但有限制

如此看來，中國是ASML光刻機最大的市場，ASML甚至在財報中立下目標，將中國市場2020年的銷售收入小幅提升到10億歐元以上（約79億元人民幣）。

但此前受中芯國際EUV光刻機遲遲難以交付消息的影響，一直有傳言稱ASML光刻機出口中國必須獲得相應許可證，由此給國產芯片制造產業帶來了莫大難處。

光刻機到底能不能賣給中國？在這次ASML的財報會議的視頻采訪中，ASML CFO Roger Dassen提到了與中芯國際等中國客戶的業務情況，他表示一些情況下出口光刻機是不需要許可證的。

Roger Dassen指出，按照該司對美國新規的整體理解，如果阿斯麥從荷蘭向中國買家供應DUV光刻系統，無需出口許可證。但是直接出口涉及到美國方面的零部件及設備，阿斯麥則必須提交出口申請，待獲批后才能進行正常買賣。

換句話說，一般的光刻機包括DUV光刻機在內的都可以賣，但EUV光刻機必須要獲得許可證。

DUV光刻機和EUV光刻機有什么區別？簡單來說，DUV是深紫外線（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是極深紫外線（Extreme Ultraviolet Lithography）。兩種不同的光源讓光刻機獲得了不同的曝光能力，從而獲得不一樣的工藝制程范圍。

DUV光刻機最多只能做到25nm，英特爾曾憑借雙工作臺的模式做到了10nm，但是卻無法達到10nm以下，后來胡正明教授（梁孟松的老師）發明了FinFET工藝之后，極盡所能的壓榨了這臺機器的潛能，讓它走到了7nm制程。

但是即使采用了FinFET工藝，芯片再想往5nm、3nm先進工藝繼續延伸，那就不得不使用EUV光刻機了。因此，DUV光刻機和EUV光刻機的價格差別也很大，DUV光刻機的價格為2000萬－5000萬美金／臺，而EUV的價格是1－3億美金／臺。

那么，ASML此番表態也等于是表明了自己的態度，一般的光刻機可以賣給你，但是好又貴的EUV光刻機，想賣給中國卻是有心無力。

國產光刻機走到哪一步？

世界上做光刻機的除了ASML以外還有尼康和佳能，但是為什么各大企業都想購買ASML的光刻機？很簡單，在繁雜的光刻機制造過程中，ASML扮演的是集大成者，將全球范圍內近8000個核心零部件整合最終造出一臺光刻機，其設備上不僅擁有最頂級的光源技術（激光系統），在其他精密儀器方面也達到了世界頂端。

雖然最近十幾年我國一直在致力于研究光刻機，但是取得的成果并不是很明顯，目前我國光刻機最高技術也就上海微電子所生產的90nm光刻機。

90nm跟28nm或者是7nm從數字上來看差距不大，但光刻機每上一個臺階技術難度就會大大增加，從90nm跨越到65nm并不難，再從65nm升級到45nm難度加大，至于28nm、14nm、7nm、5nm，甚至未來有可能出現的3nm、2nm，難度進一步加大。也正因為如此，我國的光刻機的研發進度一直都比較緩慢。

對我國來說，要想制造高端芯片，在當前肯定是離不開海外巨頭的支持。但是未來必須將核心技術掌握在自己手里，不過時間到底要多久還很難說。