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歷經波折!中國終于又收到一臺ASML光刻機

2021-03-09
來源:芯通社
關鍵詞: ASML光刻機 新陽

  3月8日,上海新陽發布公告披露其購買光刻機設備進展情況。

  公告顯示,公司自立項開發193nmArF干法光刻膠的研發及產業化項目以來,安排購買了ASML-1400光刻機等核心設備,并于2020年12月14日在《關于公司申請向特定對象發行股票的審核問詢函的回復》中披露,該光刻機將于2020年底前運抵國內。

  后由于公司與光刻機供應商、北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司(以下簡稱“合作方”)溝通協調設備運輸與安裝等細節,致使設備沒能在規定時間內運達,但與合作方就具體合作細節簽署了《合作框架協議》,預計該光刻機將于2021年3月底前進入合作方現場。

  現經各方積極協商、運作,該光刻機設備于今日(3月8日)已進入合作方北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司場地,后續將進行安裝調試等相關工作。

  上海新陽表示,公司采購的ASML干法光刻機設備順利交付,對加快193nmArF干法光刻膠產品開發進度有積極影響,有利于進一步提升公司光刻膠產品的核心競爭 力,加快落實公司發展戰略,提高公司抗風險能力和可持續發展能力。

 

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