為貫徹落實中國制造2025、制造業與互聯網融合發展、大數據等國家戰略，把握新一代信息技術深度調整戰略機遇期，提升智能傳感器產業核心競爭力，保障國家信息安全，2017年11月23日工業和信息化部按照《國家集成電路產業發展推進綱要》要求，結合《加快推進傳感器及智能化儀器儀表產業發展行動計劃》，制定了《智能傳感器產業三年行動指南（2017-2019年）》?！缎袆又改稀分С纸ㄔO國家及省級智能傳感器創新中心，依托基礎條件較好的科研院所和骨干企業，以資金或知識產權入股形式合資設立獨立的法人主體，形成一批具有知識產權和核心競爭力的關鍵技術成功，培養一批復合型新人才骨干，核心器件設計與制造技術達到國際水平。
作為中國三大傳感器研發制造基地之一，蚌埠擁有中國兵器工業第二一四研究所、希磁科技、北方芯動聯科等一批智能傳感器研發設計制造企業，組建MEMS聯合工程實驗室等一批省級以上重大研發工程，成立了安徽省智能傳感器產業創新聯盟。
順勢而為，依托“安徽省智能傳感器制造業創新中心”平臺，2019年11月，由中國兵器工業第二一四研究所牽頭，聯合清華大學精密儀器系、上汽集團技術中心、中科院蘇州生物醫學工程技術研究院、安徽合力集團公司、安徽芯動聯科微系統股份有限公司、合肥微納傳感技術有限公司、安徽奧弗醫療設備科技股份有限公司、安徽宏實自動化裝備有限公司、杭州熾橙數字科技有限公司等單位共同組建“智能傳感器制造業創新聯盟（中心）”。
據智能傳感器制造業創新聯盟理事單位中國兵器工業第二一四研究所相關人士介紹，智能傳感器產業是國民經濟和社會發展的基礎性產業，與集成電路產業相互支撐共同決定了國家的核心競爭力和國際地位。我國智能傳感器的研發體系中，各個研發機構長期處于各自為政的情況，重復研究的情況屢見不鮮，不僅浪費了資源，也導致了新技術研發周期的延長，縮減了新技術能夠產生的經濟和社會效益。創新聯盟的成立，可以匯聚各方資源，優化資源配置，建立研發快速響應機制，吸引國內外的高端人才，最大限度的利用有限的資源產出最大的效益，加強產學研合作，從技術根源上徹底打破西方國家對我國智能傳感器領域的技術封鎖，對我國傳感器核心技術的發展起著巨大的推動作用，將進一步提升安徽省乃至國家的智能傳感器創新能力，進一步提升我國核心技術的國際競爭力，實現智能傳感器自主可控。
智能傳感器制造業創新聯盟成立一年多來，取得了哪些重大進展，芯思想研究院為此專程拜訪了聯盟，獲取了第一手的信息。
創新聯盟自2019年成立以來，以中國兵器工業第二一四研究所為核心，依托該所6英寸0.5μm半導體工藝線、6英寸MEMS工藝線、光電器件工藝平臺、硅基太赫茲IMPATT（雪崩二極管）芯片工藝平臺、電子模塊及組件SMT（表面組裝技術）工藝平臺、H級厚膜混合集成電路軍標線、8寸LTCC生產線七大工藝平臺和工藝能力以及聯盟相關企業的設計能力，結合聯盟產業重心調整布局，將MEMS智能傳感器產業作為戰略性新興產業發展推進，同時結合聯盟技術特色，確定了以高性能慣性器件、光通訊器件、紅外溫度傳感器、氣體傳感器、微流量傳感器、壓力傳感器等各類智能傳感器領域為重點產業發展方向。對標國際先進工藝，同時發揮自主創新能力，建立了四套特色MEMS體硅工藝體系，不斷提升聯盟MEMS研發能力以及產業化能力，著力打造國內先進的MEMS智能傳感器產業基地。
一年多來，創新聯盟主要拓展五個領域應用：
一是人工智能領域、無人系統用高性能MEMS器件與組件：自主可控的MEMS慣性器件（陀螺儀、加速度計）與組件，在國內高端MEMS慣性器件市場形成了絕對領先地位，可廣泛應用于無人機、智能汽車領域；
二是5G通訊及物聯網領域，包含MEMS光學元件、MEMS執行器、射頻MEMS器件：現已開展了硅基濾波器、功分器、天線等產品開發，相關產品具備產業化能力，依托5G通訊領域具有巨大市場前景，結合目前聯盟成熟的MEMS器件晶圓加工、封裝測試為一體化的工藝平臺，在提升我國光通信核心器件國產化水平的同時，搶先占領5G光通信領域戰略制高點；
三是智能裝備用MEMS傳感器領域：主要應用在工業監控、智能移動終端、可穿戴設備等領域；
四是高端醫療裝備領域：2020年新冠肺炎疫情突發，應對疫情的處置凸顯了加快補齊高端醫療裝備短板，加快核心技術攻關，突破技術瓶頸，實現醫療裝備用核心器件自主可控；
五是智能家居用MEMS器件領域：隨著物聯網的高速發展，應用于智能家居領域的氣體傳感器、陣列紅外溫度傳感器、壓力傳感器，聯合開發已實現6個產品系列。
科技創新取得重大突破
創新聯盟堅持產學研深度融合的技術創新體系，在智能傳感器技術領域新增省級及國家級重大科研項目近十項，涉及MEMS、EMCCD、SOC、微波毫米波、數模轉換、功率器件等多個技術領域，比如聯盟成員中國兵器工業第二一四研究所先后拿下多項國家及省部級重大科研項目，其中國家發改委“智能與新能源汽車核心芯片研制與產業化”項目，不僅可以將聯盟主要技術和產品向汽車領域拓展，同時將聯盟縱向科研開拓至國家發改委重點項目領域；與清華大學共同申報的“核高基”重大專項從“十三五”延續至“十四五”；與中國科學院蘇州生物醫學工程技術研究所合作的“數字診療裝備研發”專項，成功獲批科技部重點研發計劃。一年多來，聯盟成員單位授權發明專利30余項，發表核心期刊論文15篇。
在關鍵技術方面，通過技術創新，培育核心技術，依托核高基國家重大科技專項課題，攻克了一系列困擾MEMS產業的關鍵技術：比如6英寸SOI體硅MEMS工藝線在MEMS微結構關鍵尺寸加工精度優于0.3μm、重復性優于0.5μm，加工垂直度優于90°±0.1°；在EMCCD方面，以自主EMCCD器件為核心，完成了全國產化的、具有完全自主知識產權的EMCCD搜索與跟蹤系統研制，通過優化組件結構，提升組件視頻圖像采集傳輸和視頻圖像處理的能力，使得EMCCD工藝開發和產品工程化取得長足發展；在LTCC器件方面，已具備完整的LTCC生產線和組封裝生產線，建立了多材料、多界面體系工藝、異形多空腔結構、高密度集成、LTCC射頻器件、組件及微系統的制造工藝技術平臺，處于國內領先水平。
在基礎技術方面，陀螺儀、加速度抗過載能力達到18500g以上，達到國內領先水平；開發了高可靠硅硅直接鍵合、共晶鍵合、玻璃漿料鍵合、靜電鍵合和熱壓鍵合技術，形成國內最完整的鍵合工藝技術，是國內唯一的擁有兩次硅硅鍵合工藝的企業；開發了不等高梳齒刻蝕技術，達到國內領先水平；完成了部分微系統3D先進集成制造的單項工藝技術攻關，為微系統產品研制與開發奠定基礎。
加快產業化發展腳步
聯盟堅持“需求牽引、聚焦主業、解放思想、合作共贏”的方針，堅定不移對外合作，擴大合作資源，鼓勵多渠道與聯盟內以及聯盟外高校、科研院所、企業建立科研與產業合作，建立緊密地產業合作生態鏈。緊緊圍繞MEMS、傳感器等產業，把推動MEMS器件產業化發展放到首要地位，力爭到2022年底，MEMS專業技術實現國家層面有站位、前沿領域有跟蹤、產業發展有作為，實現聯盟快速高質量發展。
以中國兵器工業第二一四研究所的6英寸MEMS工藝平臺、6英寸0.5μm半導體等工藝平臺為基礎，形成六大產品方向：
?。?）MEMS慣性器件：與聯盟成員單位芯動聯科公司聯合設計、共同研制，已形成9款MEMS陀螺，7款MEMS加速度計，5款微慣性測量模塊等系列化貨架產品，核心指標完成覆蓋國外同類產品，可應用在無人機姿態測量，智能機器人輔助導航，橋梁健康檢測診斷等領域。
?。?）光MEMS器件：與聯盟成員單位中科米微公司聯合設計、共同研制了包括可調諧光衰減器、光開關、可調諧光濾波器在內的9款光MEMSM微鏡系列產品，3款MEMS掃描鏡，“十四五”期間將圍繞光通訊，光傳感，光顯示，激光雷達等領域加大系列產品合作開發；
（3）MEMS紅外溫度傳感器：通過與聯盟成員單位合肥微納公司和蘇州容啟公司間聯合設計、共同研制，當前已形成單元式與陣列式兩大類三種MEMS溫度傳感器產品，其中陣列式溫度傳感器具有靈活度高，同時具備測試移動目標的優點，“十四五”將重點圍繞智能家居、醫療健康等行業加大產品迭代與產業化；
?。?）MEMS氣體傳感器：與聯盟成員單位合肥微納公司聯合設計、共同研制，突破了復合介質薄膜應力匹配、難熔金屬高精度圖形化工藝，實現了國產化，主要檢測CO、VOC、NO等氣體，“十四五”將突破三位立體加熱臺的成套批生產工藝，進一步降低傳感器功耗，提升傳感器性能；
?。?）MEMS微流量傳感器：聯合相關企業研制攻關MEMS微流量傳感器，用于噴墨打印機領域，目前國內還是瓶頸。該項技術的突破成功將以創新的MEMS技術引領噴墨打印產業的轉型，將為紡織、封裝、印刷電子等工業應用領域帶來新的市場機遇。
?。?）MEMS壓力傳感器：研制攻關6款壓力傳感器，產品通過SOI工藝制作MEMS壓力傳感器敏感芯片，將敏感芯片經金屬隔離充液封裝而成的壓力芯體以及配合專用ASIC芯片調理完成的各類變送器產品，主要應用于航空航天、艦載船舶、石油化工等領域，在研的微壓力傳感器，將廣泛應用于未來醫用健康領域。
創新聯盟工作要創新
“十四五”期間要建成創新能力國內領先的“智能傳感器制造業創新聯盟（中心）”，孵化一批產業鏈關鍵環節高新技術企業，部分技術和產品達到國際領先水平，引領安徽省成為集研發、制造、服務等于一體的具有國際競爭力、國內領先的智能傳感器產業聚集區。
“十四五”期間將進一步加快聯盟內科技成果轉化和軍民融合發展，發揮技術優勢，推動科技與市場、資本的有效結合，借鑒微系統所探索成立基金管理平臺公司的成功經驗，聯盟以中國兵器工業第二一四研究所為主聯合省市地方政府、中兵投資以及產業鏈上下游企業共同發起成立產業基金。該基金圍繞MEMS產業鏈上下游研發設計、原材料生產、設備制造、晶圓加工、封裝測試等領域的投資，尤其關注聯盟在MEMS主流產品方向具有技術優勢的設計公司。
“十四五”期間將由聯盟牽頭，整合各成員單位優勢資源，聯合申報包括發改委、工信部、科技部等在內的科技創新項目，提升聯盟在行業內的影響力。
“十四五”期間將優先對聯盟成員單位開放中國兵器工業第二一四研究所現有的七大工藝平臺，組織制訂聯盟成員間落地項目成果轉化優惠政策，為聯盟產業化發展提供更優質的服務。