在光學(xué)系統(tǒng)中，影響其性能的主要原因是由系統(tǒng)內(nèi)部產(chǎn)生的大量散射光造成的，而產(chǎn)生這些散射光的根本原因，又在于光學(xué)元件自身的質(zhì)量，即使整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)得再好，如果內(nèi)部光學(xué)元件的質(zhì)量不過(guò)關(guān) ，那么構(gòu)成的系統(tǒng)也不能正常工作。

　　因此需要提高光學(xué)元件本身的質(zhì)量來(lái)改善散射光所帶來(lái)的問(wèn)題。雖然光學(xué)系統(tǒng)的窗口或系統(tǒng)內(nèi)部也可能會(huì)產(chǎn)生散射光，但這種散射光能量較小，大部分的散射光是由光 學(xué)元件表面散射造成的。

　　通常表面產(chǎn)生的散射光能量要比內(nèi)部散射至少大1 至 2 個(gè)數(shù)量級(jí)，所以光學(xué)元件表面質(zhì)量好壞與否，將直接影響光學(xué)系統(tǒng)的整體性能。

　　導(dǎo)致光學(xué)元件表面發(fā)生散射現(xiàn)象的原因有很多，例如表面的麻點(diǎn)、劃痕、破邊、開(kāi)口氣泡以及粗糙度 等表面微結(jié)構(gòu)，還有可能是表面膜層厚度、薄膜材料折射率不均勻等各種問(wèn)題。

　　通常對(duì)比表面入射光波長(zhǎng)與散射源尺寸的大小，將散射源大致分為三類(lèi)：

　　1，散射源的尺寸遠(yuǎn)大于入射光波長(zhǎng)，這種散射源就是通常說(shuō)的疵病，如劃痕、麻點(diǎn)、破邊等。

　　2，散射源的尺寸和入射光波長(zhǎng)處于同一數(shù)量級(jí)的單一離散不規(guī)則顆粒物，這類(lèi)散射源稱(chēng)作離散 微粒。

　　3，入射光波長(zhǎng)遠(yuǎn)大于散射源的尺寸，這種散射源在空間中精密排列，對(duì)光的散射表現(xiàn)在空間上的相互作用的綜合結(jié)果，因此不能當(dāng)作獨(dú)立的散射源來(lái)處理。這種散射源通常被稱(chēng)作不規(guī)則微量散射，最典型的此類(lèi)散射源就是表面粗糙度。

　　以上三種散射源具有不同的特性，所以就需要相對(duì)應(yīng)的散射理論來(lái)解釋這些散射源所引起的散射現(xiàn)象。

　　對(duì)于第一類(lèi)散射源，在三種類(lèi)型中比較容易被發(fā)現(xiàn)，通過(guò)簡(jiǎn)單的幾何光學(xué)就能解釋它的散射現(xiàn)象。

　　而幾何光學(xué)對(duì)第二種散射源則不再適用，這類(lèi)散射源獨(dú)立分布且散射中心可以互不干擾，所以需要利用米氏散射理論來(lái)處理，其中特殊情況還能用瑞利散射解釋。

　　第三種散射源隨機(jī)不規(guī)則分布，它們的平均高度只有納米級(jí)，這類(lèi)散射源也被稱(chēng)為粗糙度散射。

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