紫外飛秒激光主要有兩種產(chǎn)生方式：一種是在固體介質(zhì)中，通過將紅外激光或者近紅外光經(jīng)過非線性倍頻晶體的方式一次或多次進(jìn)行頻率轉(zhuǎn)換后實(shí)現(xiàn)紫外激光的輸出，另一種是利用紅外激光在氣體介質(zhì)中成絲產(chǎn)生等離子通道實(shí)現(xiàn)。

　　研究表明，利用稀有氣體中的諧波產(chǎn)生來實(shí)現(xiàn)近紅外激光脈沖的非線性頻率轉(zhuǎn)換是一種有效的產(chǎn)生紫外激光的方法，并且可以將超短脈沖產(chǎn)生技術(shù)擴(kuò)展到深紫外波段，不需要控制紫外光的色散。

　　采用固體介質(zhì)時(shí)因受到傳輸波長的限制，輸出波長多在200nm以上。

　　相較于固體介質(zhì)，氣體介質(zhì)在紫外波段的透過范圍更寬，且擁有更小的色散系數(shù)，因此氣體介質(zhì)是產(chǎn)生紫外脈沖的一種較理想的介質(zhì)。

　　雖然利用氣體介質(zhì)的非線性效應(yīng)可以產(chǎn)生波長更短的紫外光脈沖，但其轉(zhuǎn)換效率要低于固體介質(zhì)。