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Intel拿下首批第二代High-NA光刻機,斥資200億美元建廠

2022-01-21
來源:OFweek電子工程網

1月19日,ASML宣布2022年一季度,其第二代High-NA光刻機TWINSCAN EXE:5200獲得了首個訂單,第二代High-NA光刻機被用于2NM制程芯片制造,有望在2024年實現交付。

自2017年ASML的第一臺量產的EUV光刻機正式推出以來,三星的7nm/5nm工藝,臺積電的第二代7nm工藝和5nm工藝的量產都是依賴于0.55 數值孔徑的EUV光刻機來進行生產。

目前,臺積電、三星、英特爾等頭部的晶圓制造廠商也正在大力投資更先進的3nm、2nm技術,以滿足高性能計算等先進芯片需求。而3/2nm工藝的實現則需要依賴于ASML新一代High-NA EUV光刻機EXE:5000系列。

ASML目前正在開發當中的第二代High-NA EUV光刻機是基于 0.33 數值孔徑透鏡的 EUV 光刻系統的迭代產品,其具有 0.55 數值孔徑的鏡頭,分辨率為 8 納米,而現有的0.33 數值孔徑透鏡的 EUV 光刻系統的分辨率為 13 納米,使得芯片制造商能夠生產3/2nm及以下更先進制程的芯片,并且圖形曝光的成本更低、生產效率更高。

但是,0.55 NA EUV光刻系統造價相比第一代的EUV光刻機也更高。據 KeyBanc 稱,一臺0.55 NA EUV光刻系統的成本預計為3.186億美元,而目前正在出貨的EUV光刻系統則為1.534億美元。

早在2021年7月底的“英特爾加速創新:制程工藝和封裝技術線上發布會”上,英特爾已宣布將在2024年量產20A工藝(相當于臺積電2nm工藝),并透露其將率先獲得業界第一臺High-NA EUV光刻機。

拿下首批第二代High-NA光刻機的企業正是Intel

2021年30年老將帕特·基辛格重回Intel擔任CEO之后,他推出了IDM 2.0戰略,意圖重振Intel在半導體制造上的領先地位。美國是半導體技術的發源地,基辛格在Intel工作的30年內見證了美國及Intel最輝煌的時刻,然而現在美國公司在全球半導體生產中的份額已經下滑到了12%,先進工藝生產轉移到了亞洲地區,所以基辛格上任之后一直呼吁加大投資,讓美國重新奪回至少1/3的半導體制造份額。

這也是從戰略層面Intel要進軍2nm的原因。

在搭建整合先進制程方面Intel有著自己的考慮,英特爾期望能在晶圓制造領域超過龍頭臺積電。與此同時,英特爾還大量采用臺積電的晶圓代工服務,預期未來幾年會成為臺積電的大客戶之一。

臺積電此前已經向ASML采購High-NA研發型EUV光刻機EXE: 5000,在Intel采購TWINSCAN EXE:5200后,臺積電預計在今年會跟進下單TWINSCAN EXE:5200。

無獨有偶,2021年三星電子半導體收入大增31.6%至759億美元(約合4815億元人民幣),超越Intel成為全球收入最高的芯片制造商。而位居第二的Intel去年半導體收入為731億美元,僅增長了0.5%,是排名前25位芯片制造商中銷售額增長最慢的一家。Intel一直把持住的服務器處理器領域,也被其競爭對手AMD瘋狂搶走份額,在這個領域,AMD市占率已從第14位飆升到第10位。

無論是在芯片制造,還是在芯片設計,Intel都有被反超落下的風險。

為此,Intel在本周五宣布將斥資200億美元推進IDM 2.0戰略,在美國俄亥俄州建廠。

三星、臺積電、Intel、AMD、NVIDIA等芯片領域的巨頭,都不約而同的在21世紀第二個十年陷入了芯片“軍備競賽”,勝者是誰?現在下定論還為時尚早,各位看官還請拭目以待。




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