5月6日消息，有投資者向晶瑞電材提問，光刻膠作為核心半導體材料，請問公司的技術優勢在哪里？目前的銷售情況怎么樣？

晶瑞電材回應稱，光刻膠位居芯片制造最難材料之首，屬典型卡脖子材料，我司子公司蘇州瑞紅是國內少有的既有規模又有利潤的成熟光刻膠企業，銷售規模和盈利能力處于國內領先位置，近年銷售額和利潤均呈現高速增長。

瑞紅公司光刻膠品類齊全，經過三十年積累，擁有負型光刻膠系列、寬譜正膠系列、g線系列、i線光刻膠系列、KrF光刻膠系列等數十個型號產品，ArF光刻膠的研發工作有序開展中。瑞紅部分產品占據國內主要市場份額，部分產品進入了頭部芯片公司。目前公司半導體光刻膠產品產銷正常，其中部分光刻膠產品供不應求，公司已啟動該類光刻膠產品的擴產項目建設。

公開資料顯示，晶瑞電材是國內技術領先的微電子化學品龍頭，主要產品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料等，廣泛應用于半導體芯片、面板顯示、LED等泛半導體領域及鋰電池、太陽能光伏等新能源行業。

晶瑞電材的光刻膠產品由其的子公司蘇州瑞紅生產，規模生產光刻膠30年，產品序列齊全，產業化規模、盈利能力均處于行業領先水平，是國內最早規模量產光刻膠的少數幾家企業之一。

根據晶瑞電材的財務總監、董秘陳萬鵬透露，晶瑞去年1．79億元的光刻膠收入中，有80％～85％來自半導體客戶。

2021年度，受益于國產半導體材料滲透率加速提升、新能源汽車行業高速發展，公司主營產品半導體級光刻膠及配套材料、高純化學品、鋰電池材料等產銷兩旺，同比環比均產生了較大增長，業績增速十分顯著。

2021年度，晶瑞電材實現營業總收入183，208．76萬元，較上年同期增長79．21％；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤20，099．66萬元，較上年同期增長161．20％。

其中，光刻膠及配套材料產品共計實現銷售27，412．34萬元，同比增長53．04％，達到歷史最高水平，綜合毛利率提升了4．3個百分點，盈利水平得以提升。

晶瑞電材的半導體光刻膠布局中，i線光刻膠已經量產，擁有 i 線光刻膠 100 噸／ 年，并批量出貨給國內晶圓制造頭部企業，是目前國內少數幾家實現光刻膠量產的企業之一，其i 線光刻膠已向國內頭部的知名大尺寸半導體廠商供貨，主要客戶包括中芯國際、華虹宏力、上海積塔、長江存儲、士蘭微、合肥長鑫、揚杰科技等半導體行業知名企業。

KrF（248nm深紫外）光刻膠產品分辨率達到了0．25～0．13μm的技術要求，已通過部分重要客戶測試，KrF光刻膠量產化生產線正在積極建設中，計劃2022年形成批量供貨。同 時為加快KrF光刻膠的量產，公司新購入了尼康KrF S207光刻機及配套設備。

國內主要光刻膠企業

光刻膠又稱“光致抗蝕劑”，是光刻成像的承載介質，其作用是利用光化學反應的原理將光刻系統中經過衍射、濾波后的光信息轉化為化學能量，進而完成掩模圖形的復制。

一定程度上來說，光刻出的電路圖案越精密，就代表著芯片性能越好。采用不同的光刻光線，對應地需要搭配不同的光刻膠。目前，根據不同的光波長，光刻膠大致可以分為G線、I線、KrF、ArF、EUV這幾類。

一直以來，半導體光刻膠都屬于光刻膠高端產品，由于國內光刻膠領域起步較晚，技術嚴重落后等原因，導致我國半導體芯片領域的光刻膠需求主要由外資企業來滿足，日美廠商占據了約87％的份額，國內光刻膠產品進口比例高達九成。

在如此惡劣的環境下，國內依舊誕生了一批優質光刻膠企業。

彤程新材

彤程新材成立于2008年，電子化學品業務主要涵蓋半導體光刻膠及配套試劑、顯示面板光刻膠和電子級酚醛樹脂。

2020年，彤程新材通過外延并購實現光刻膠業務布局，其子公司北京科華和北旭電子分別為國內半導體光刻膠和面板光刻膠領先企業。其中，北京科華是唯一被SEMI列入全球光刻膠八強的中國光刻膠公司，其研發進度國內領先，KrF光刻膠實現量產。北旭電子是國內首家TFT光刻膠制造商，國內市場整體占有率近20％。

同時，彤程新材積極向光刻膠上游布局，發揮產業鏈協同優勢。通過建立電子級酚醛樹脂生產線，著力研發G／I線光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠生產所需的樹脂。

此外，彤程新材加速光刻膠產能拓展滿足國內市場需求，先后規劃1．1萬噸半導體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關配套試劑項目，并建設年產5000噸電子級酚醛樹脂生產線。

此外，彤程新材還建立了光刻膠研發實驗室和電子級樹脂研發平臺，不斷深入電子化學品布局。彤程新材客戶涵蓋國內主流廠商，包括中芯國際、上海華力微電子、長江存儲、華潤上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電、華燦光電等。目前是全球領先的新材料綜合服務商。

南大光電

南大光電成立于2000年，是專業從事先進前驅體材料、電子特氣、光刻膠及配套材料三類半導體材料產品生產、研發和銷售的高新技術企業。

自2017年起，南大光電先后承擔國家“02專項”高分辨率光刻膠與先進封裝光刻膠產品關鍵技術研發項目和ArF光刻膠產品開發與產業化項目。歷經3年，南大光電已制備出國產自主可控的ArF光刻膠產品， 滿足產業化的技術條件。

目前，南大光電自主研發的ArF光刻膠產品已經成功通過武漢新芯的使用認證，成為通過產品驗證的第一家國產ArF光刻膠企業，目前，南大光電建有ArF光刻膠產品大規模生產線，將形成年產25噸ArF（干式／浸沒式）光刻膠產品的生產能力，產品性能可以滿足90 nm－14 nm集成電路制造的要求。

上海新陽

上海新陽成立于1997年，二十年來，上海新陽經過持續不斷地研發創新，形成了擁有完整自主可控知識產權的電子電鍍和電子清洗兩大核心技術。

緊密圍繞兩大核心技術，上海新陽開發研制出140多種電子電鍍與電子清洗系列功能性化學材料，產品廣泛應用于集成電路制造、3D－IC先進封裝、IC傳統封測等領域，滿足芯片銅制程90－28 nm工藝技術要求，相關產品已成為多家集成電路制造公司28nm技術節點的基準材料，成為中國半導體功能性化學材料和應用技術與服務的知名品牌。

此外，上海新陽已立項研發集成電路制造用高分辨率193 nmArF光刻膠及配套材料與應用技術，其KrF厚膜光刻膠2021年開始實現少量銷售，預計2022年可實現量產；ArF干法光刻膠尚在認證當中，在2022年可實現少量銷售，2023年開始量產，其合肥第二生產基地項目正在按計劃建設當中。

徐州博康

徐州博康成立于2010年，深耕光刻材料領域十余年，實現了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產品光刻膠的國產化自主可控的供應鏈，目前已開發全球在用的KrF及ArF光刻膠單體種類的80％左右，是國內半導體光刻膠領域少有的垂直一體化企業。

2021年徐州博康產能切換及光刻產品技術與工藝不斷突破，光刻膠單體收入同比增長19．48％，光刻膠收入同比增長177％。

目前徐州博康ArF光刻膠有6款，品種涵蓋65nm，55nm、40nm、28nm及以下的關鍵層工藝以及LOGIC，3DNAND，DRAM等應用領域。其中，應用于通孔工藝的ArF濕法光刻膠，已經能夠應用至40nm／28nm工藝節點，是我國第一款國產化的ArF濕法通孔光刻膠。目前，有4款A膠正在客戶端進行導入測試。KrF光刻膠有13種，目前有8款K膠正在客戶端進行導入測試。I線光刻膠有11種，產品種類涵蓋高能注入、抗刻蝕等關鍵層工藝以及PAD、lift－off等應用領域。

結語

對于國內企業來說，在光刻膠行業取得良好的發展，是突破美國對于國內半導體行業的封鎖的絕佳機會。現在國內的光刻膠企業雖然在中低端光刻膠領域有所進展，但在高端光刻膠領域明顯存在差距，后續能否在該領域實現突破，還有待觀望。