《電子技術(shù)應(yīng)用》
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光電芯片制造重大突破!我國科學(xué)家首獲納米級光雕刻三維結(jié)構(gòu)

2022-09-21
來源:快科技

   從技術(shù)競爭的角度來看,光芯片被認(rèn)為是與國外研究進(jìn)展差距最小的芯片技術(shù),被寄予了中國“換道超車”的希望。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202209/438369.htm

  據(jù)媒體報(bào)道,9月14日晚,我國科學(xué)家在國際頂級學(xué)術(shù)期刊《自然》發(fā)表了最新研究,首次得到納米級光雕刻三維結(jié)構(gòu),在下一代光電芯片制造領(lǐng)域的獲得重大突破。

  這一重大發(fā)明,未來或可開辟光電芯片制造新賽道,有望用于光電調(diào)制器、聲學(xué)濾波器、非易失鐵電存儲(chǔ)器等關(guān)鍵光電器件芯片制備,在5G/6G通訊、光計(jì)算、人工智能等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。

  據(jù)介紹,南京大學(xué)張勇、肖敏、祝世寧領(lǐng)銜的科研團(tuán)隊(duì),發(fā)明了一種新型“非互易飛秒激光極化鐵電疇”技術(shù),將飛秒脈沖激光聚焦于材料“鈮酸鋰”的晶體內(nèi)部,通過控制激光移動(dòng)的方向,在晶體內(nèi)部形成有效電場,實(shí)現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的直寫和擦除。

  這一新技術(shù)突破了傳統(tǒng)飛秒激光的光衍射極限,把光雕刻鈮酸鋰三維結(jié)構(gòu)的尺寸,從傳統(tǒng)的1微米量級(相當(dāng)于頭發(fā)絲的五十分之一),首次縮小到納米級,達(dá)到30納米,大大提高了加工精度。



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