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我國首獲納米級光雕刻三維結構:沒有EUV光刻機,一樣量產7nm芯片

2022-09-17
來源:21ic
關鍵詞: 納米級 三維結構 EUV 7nm

為了遏制中國科技發展,近年來美國越來越多地動用國家力量,通過各種“惡意限制”手段來維護其技術霸權的地位。比如,多次收緊半導體設備出口中國、頻繁擴大技術出口管制清單,以及禁止ASML向我國出售14nm及以下工藝的DUV光刻機,甚至還將魔抓伸向了華裔科學家。

然而,面對這些“卡脖子”技術問題,中國不僅沒有選擇屈服,反而走出了一條自己獨特的發展之路。這不,剛剛國內自主芯片產業就傳來一個好消息:9月14日晚間,國際頂級學術期刊《自然》發表了一項最新研究,中國科學家首次得到了納米級光雕刻三維結構,在下一代光電芯片制造領域取得了重大突破。

據悉,南京大學張勇、肖敏、祝世寧領銜的科研團隊,發明了一種新型“非互易飛秒激光極化鐵電疇”技術,將飛秒脈沖激光聚焦于材料“鈮酸鋰”的晶體內部,通過控制激光移動的方向,在晶體內部形成有效電場,實現三維結構的直寫和擦除。

這一技術的難度在于,它突破了傳統飛秒激光的光衍射極限,把光雕刻鈮酸鋰三維結構的尺寸,從傳統的1μm量級(相當于頭發絲的五十分之一)首次縮小到納米級,達到30nm,從而大大提高了加工精度。

該研究指出,這一重大發明未來或可開辟光電芯片制造新賽道,有望用于光電調制器、聲學濾波器、非易失鐵電存儲器等關鍵光電器件芯片制備,在5G/6G通訊、光計算、人工智能等領域有廣泛的應用前景。

我們都知道,芯片作為當代科學技術發展的結晶,在軍事、民用等各大領域均發揮著不可替代的重要作用。然而,隨著集成電路的不斷發展,傳統的電子集成電路在帶寬與能耗等方面逐漸逼近極限,再加上DUV/EUV光刻機的出貨受到限制。因此,光電芯片作為全球半導體行業的一個重要細分賽道,則被業內認為是“最有希望的繼任者”。

簡單來說,光電芯片是一種高度集成的元器件,其所集成的元件包括激光器、調制器、耦合器、分束器、波分復用器、探測器等,主要用來完成光電信號轉換的。

從原理上看,電子集成芯片采用電流信號來作為信息的載體,而光電芯片則采用頻率更高的光波來作為信息載體。相較于電子集成電路或電互聯技術,光子集成電路與光互連展現出了更低的傳輸損耗、更寬的傳輸帶寬、更小的時間延遲,以及更強的抗電磁干擾能力。

此外,光互聯還能通過使用多種復用方式(例如波分復用WDM、模分互用MDM等)來提高傳輸媒質內的通信容量。因此,建立在集成光路基礎上的片上光互聯被認為是一種極具潛力的技術,而光電芯片則可用以克服電子傳輸所帶來的瓶頸問題。

據悉,為了打破美芯的限制,華為早已將目光放在了光電芯片上,前兩年不僅斥資10億英鎊在英國劍橋園區建設了光電研發中心,還招攬了大批國外頂尖人才為其研發光電芯片。

此前,華為創始人任正非就曾表示,光電芯片是完全可以繞開美國技術封鎖的。換句話說,由于光電芯片的制造工藝不同于硅芯片,即使沒有EUV光刻機,只要我們能夠掌握這一技術,一樣可以量產7nm及以下的芯片!

▲資料圖

除了光電芯片領域,我國科學家在量子模擬前沿領域也有了新的突破。

根據《自然》當天發表的另一項研究顯示,南京大學繆峰合作團隊通過在“原子世界搭積木”的方式,把兩個石墨烯雙原子層,以旋轉180°+0.75°的特殊角度疊加,并施加一個垂直電場,研制出了一種全新的量子材料。同時,通過改變垂直電場,在國際物理學界首次觀測到了量子融化的“中間態”,并揭示了這一量子“中間態”的演化機制。

據悉,這一重大理論機制的創新成果,未來有望用于開發高密度集成、高度可調和易于讀取的固體量子模擬器。例如通過模擬生物神經網絡、化學反應系統等復雜體系的演化,用于類腦人工智能技術開發和新藥研發等。

雖然中國面臨著很多“卡脖子”技術問題,但目前已有不少行業通過各項舉措推動技術突破,正在逐步彌補各個需要“補短板”、“鍛長板”、“填空白”的關鍵細分領域。

相信在不久的將來,我國在集成電路、生物醫藥、人工智能等重點領域和關鍵環節都將出現各種突破——中國將會在各個關鍵核心技術上有自己的“話語權”!



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