在半導(dǎo)體設(shè)備中，光刻機(jī)是核心設(shè)備，決定了工藝的先進(jìn)程度，EUV是當(dāng)前最先進(jìn)的光刻機(jī)，可以制造7nm以下的工藝，全球僅有荷蘭ASML公司能夠生產(chǎn)，單價(jià)將近10億元，下一代EUV甚至超過25億元。
研發(fā)EUV光刻機(jī)到底有多難？全球還有別的公司可以制造出來(lái)嗎？對(duì)于這樣的疑問，ASML公司日前在財(cái)報(bào)會(huì)議上談到了EUV的難點(diǎn)。
ASML表示，就ASML而言，它由數(shù)百個(gè)供應(yīng)商組成，每個(gè)供應(yīng)商在什么方面都是世界級(jí)的。
只要提到通快、蔡司和VDSL的名字，他們的工作就是世界級(jí)的，這只是上百家供應(yīng)商中的三個(gè)。
研發(fā)光刻機(jī)需要的不止是專利，它的訣竅是人，是大腦，ASML表示這些花了40年的時(shí)間。
物理學(xué)規(guī)律在全球都是一樣的，但是ASML做到這一步有著數(shù)百家公司積累的專業(yè)知識(shí)，他們作為系統(tǒng)集成商做出了光刻機(jī)。
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