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埃賽力達推出首款適用于340 nm-360 nm波長范圍的LINOS UV F-Theta Ronar低釋氣鏡頭

2024-06-12
來源:埃賽力達科技有限公司

  新上市的UV F-Theta鏡頭采用優化的低釋氣不銹鋼設計,適用于UV紫外激光材料加工應用。

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  以市場為導向的創新光電解決方案工業技術領導者——埃賽力達科技有限公司(Excelitas TechnologiesCorp.)近期宣布推出適用于340 nm-360 nm波長范圍的LINOS? UV F-Theta Ronar低釋氣鏡頭。作為市場上首款采用低釋氣和不銹鋼設計的可現貨供應的UV F-Theta鏡頭,該新鏡頭比傳統產品具有更強的耐用性,可處理更高的UV脈沖能量和超短激光脈沖,適用于半導體、晶片加工和電子顯示行業中的激光材料加工應用。

  這款低釋氣UV鏡頭采用獨特的紫外線結構,包括高級熔融石英透鏡材料和不銹鋼外殼,并結合高端寬帶透鏡涂層,以實現優異的光學性能。此外,鏡頭的設計還優化并最大限度地減少了背向反射,以避免損壞掃描鏡。鏡頭的封裝和防塵蓋材料也實現了低釋氣性能。

  其主要產品特性包括:

  • 低釋氣設計、生產和裝配最大程度地減少了精密紫外線工藝中的污染,同時由于減少了鏡片中的污染物從而延長了使用壽命。

  • 可用于高端紫光激光應用,如半導體制造、平板顯示器和太陽能電池制造。

  • 針對340 nm-360 nm的UV波長和高端寬帶涂層進行了優化設計,適用于各種類型的激光器,包括盤式激光器、光纖激光器和DSSP激光器,以及晶圓切割、退火和太陽能電池加工應用。

  • 能夠處理更高功率(高達100W)和短脈沖(≥500飛秒),從而可實現冷激光加工并最大限度地減少熱影響區(HAZ),提高激光加工精度。

  • 先進的生產工藝確保最少的釋氣和長期的光學穩定性。

  • 優化的背反射技術最大程度地減少了對掃描鏡的損壞并延長了使用壽命。

  “我們很高興推出波長范圍為340 nm-360 nm的低釋氣UV F-Theta Ronar鏡頭,這是我們用于激光材料加工的LINOS F-Theta-Ronar鏡頭產品線的最新成員。¨埃賽力達應用工程師Matthias Koppitz說道:”除了鏡框材料具有出色的耐用性之外,我們還大大減少了輔助材料并改進了潔凈裝配工藝,使得該鏡頭成為各種紫外激光應用的理想選擇。¨

  用于340 nm-360 nm波長范圍的LINOS UV F-Theta Ronar低釋氣鏡頭可與適用于同樣波長范圍的低釋氣1x-4x的LINOS UV擴束鏡完美匹配。對于無需減少釋氣的應用,該新品還可提供成本優化的無色鋁制版本。





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