《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > EDA與制造 > 業界動態 > 我國在硅光子集成領域取得里程碑式突破

我國在硅光子集成領域取得里程碑式突破

2024-10-08
來源:芯智訊

1.png

據“九峰山實驗室”官方消息,2024年9月,該實驗室在硅光子集成領域取得里程碑式突破性進展——成功點亮集成到硅基芯片內部的激光光源,這也是該項技術在國內的首次成功實現。

隨著人工智能大模型的開發和應用,以及自動駕駛等技術的發展,對于芯片算力的需求持續提升,但是半導體先進制程工藝已經越來越逼近物理極限,在單個芯片上增加晶體管密度這條路徑越來越難,每一代制程的提升所能夠帶來的性能提升或功耗降低也越來越有限,同時還帶來成本的急劇上升,這也意味著摩爾定律無法繼續發揮作用。為此,不少半導體廠商將目光轉向了先進封裝技術,即通過將多個芯粒封裝在同一塊基板上,以提升晶體管數量,從而提高性能。

但是,在單個封裝單元中芯粒越多,它們之間的互連就越多,數據傳輸距離也就越長,傳統的電互連技術迫切需要演進升級。與電信號相比,光傳輸的速度更快、損耗更小、延遲更少,芯片間光互聯技術被認為是推動下一代信息技術革命的關鍵技術,也被認為是在后摩爾時代突破集成電路技術發展所面臨的功耗、帶寬和延時等瓶頸的理想方案。

2.png

△芯片間光互聯示意圖

目前業界對硅光全集成平臺的開發最難的挑戰在于對硅光芯片的“心臟”,即能高效率發光的硅基片上光源的開發和集成上。該技術是我國光電子領域在國際上僅剩不多的空白環節。

此次九峰山實驗室硅光工藝團隊與合作伙伴協同攻關,成功在8英寸硅光晶圓上異質鍵合III-V族激光器材料外延晶粒,再進行CMOS兼容性的片上器件制成工藝,成功解決了III-V材料結構設計與生長、材料與晶圓鍵合良率低,及異質集成晶圓片上圖形化與刻蝕控制等難點。經過近十年的追趕攻關,終成功點亮片內激光,實現“芯片出光”。

3.png

△九峰山實驗室8英寸硅基片上光源芯片晶圓

相較于傳統的分立封裝外置光源和FC微組裝光源,九峰山實驗室片上光源技術能有效解決傳統硅光芯片耦合效率不夠高、對準調節時間長、對準精度不夠好的工藝問題,突破了制作成本高、尺寸大、難以大規模集成等量產瓶頸。

資料顯示,湖北九峰山實驗室主要聚焦于化合物半導體研發與創新,于2023年3月正式投入運營。成立一年半時間,九峰山實驗室就吸引了近30家半導體鏈條企業比鄰而居,總估值超百億元,培育半導體領域人才超3萬人。九峰山實驗室在這一年時間里,還實現了8英寸中試線通線運行,首批晶圓(高精密光柵)成功下線,填補了國內高線密度、超高折射率、非周期性高精密光柵生產工藝空白。

2024年2月20日,九峰山實驗室宣布全球首片8英寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓成功在該實驗室下線。該成果使用8英寸SOI硅光晶圓鍵合8寸鈮酸鋰晶圓,單片集成光電收發功能,為目前全球硅基化合物光電集成最先進技術。該項成果可實現超低損耗、超高帶寬的高端光芯片規模制造,為目前全球綜合性能最優的光電集成芯片。

4.png

除自身不斷創新突破外,作為國內為數不多的公共、開放、中立、共享的科研平臺,九峰山實驗室還與產業鏈各龍頭企業通力合作,以“用”為導向,布局開發共性技術,推進國產半導體材料、設備的驗證工作,打造化合物半導體中試平臺。

在九峰山實驗室,9000平方米的潔凈室內,有上百個項目在同時運轉:

上海邦芯半導體科技有限公司研發的刻蝕、薄膜沉積設備,在九峰山實驗室的助推下,實現多款設備的量產。

武漢驛天諾科技有限公司與九峰山實驗室合作開發的硅光及三代半導體晶圓級、芯片級、器件級封測裝備,測試精度達到微米級。

華工科技研制的首套高端半導體晶圓激光切割系列裝備借助九峰山實驗室平臺通過了中試驗證,獲取測試報告的設備已成功導入下游企業。

驛天諾科技有限公司董事長單娜表示,在九峰山實驗室平臺的引薦下,公司已經拓展了一批新客戶,獲得了一批訂單,下一步還會入駐九峰山科技園區,進一步擴大經營規模。

九峰山實驗室有關負責人此前在接受媒體采訪時表示,我們希望與更多合作伙伴共同點亮化合物半導體平臺、技術、產業的“燈塔”,為未來3~10年的技術難題進行前沿探索和技術攻關,打通全產業鏈條中的“斷點”,拉平產學研融合發展的鴻溝,引領全球化合物半導體技術進步。

目前,九峰山實驗室周邊已聚集了近30家化合物半導體龍頭企業和創新型中小企業,到2025年,這里將聚集產業鏈企業100家以上,培育1到2家細分領域龍頭企業,在存儲、化合物半導體、傳感器、先進封裝等細分領域打造一批創新產品,形成化合物半導體全產業生態。


Magazine.Subscription.jpg

本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
亚洲一区二区欧美_亚洲丝袜一区_99re亚洲国产精品_日韩亚洲一区二区
国内一区二区三区在线视频| 日韩午夜激情电影| 欧美sm极限捆绑bd| 亚洲欧美中文字幕| 亚洲最新色图| 亚洲国产欧美日韩精品| 亚洲国产小视频在线观看| 国产农村妇女毛片精品久久麻豆 | 99热精品在线观看| 在线观看亚洲精品视频| 国产一区二区久久| 国产精品羞羞答答xxdd| 欧美日韩专区在线| 欧美日韩不卡一区| 免费不卡中文字幕视频| 久久久综合激的五月天| 香蕉国产精品偷在线观看不卡| 亚洲电影免费观看高清| 亚洲欧美日韩一区二区在线| 亚洲天堂成人在线观看| 一本色道久久综合狠狠躁的推荐| 亚洲国产精品激情在线观看| 樱桃国产成人精品视频| 一区二区三区在线观看欧美| 国产一区二区中文字幕免费看| 国产农村妇女精品一区二区| 国内精品久久久久久久果冻传媒 | 国产亚洲欧美另类中文| 好吊妞**欧美| 亚洲盗摄视频| 亚洲人成欧美中文字幕| 一区二区三区.www| 香蕉国产精品偷在线观看不卡| 久久福利视频导航| 亚洲国产另类久久精品| 一区电影在线观看| 先锋影音久久久| 久久午夜电影网| 欧美精品播放| 国产精品日本| 伊人婷婷久久| 日韩亚洲欧美精品| 香蕉久久夜色精品| 91久久一区二区| 亚洲先锋成人| 久久国产一区二区三区| 欧美高清在线一区| 国产精品人人爽人人做我的可爱 | 在线观看欧美黄色| 一本一道久久综合狠狠老精东影业| 亚洲一区在线看| 亚洲国产精品成人va在线观看| 一区二区欧美日韩视频| 欧美在线免费观看视频| 欧美成人一区二区三区| 国产精品国产成人国产三级| 黄色日韩在线| 一区二区久久| 亚洲国产成人精品久久| 亚洲一品av免费观看| 久久亚洲一区二区| 欧美天天影院| 精品999在线观看| 亚洲一二三四久久| 亚洲欧洲在线观看| 欧美一区二区三区视频| 欧美高清成人| 国产午夜精品久久久久久久| 亚洲人成网站在线观看播放| 香蕉久久国产| 亚洲一区二区三区精品视频 | 久久久久综合网| 欧美日韩免费观看一区三区| 国产一区二区三区的电影| 99热在线精品观看| 亚洲国产精品小视频| 先锋影音网一区二区| 欧美精品在线免费| 好吊色欧美一区二区三区视频| 在线亚洲观看| 99国产精品久久久久久久| 久久久精品久久久久| 欧美性大战久久久久| 亚洲国产成人av| 性欧美xxxx视频在线观看| 亚洲午夜精品久久| 欧美激情精品久久久| 国模一区二区三区| 亚洲一区二区三区在线播放| 亚洲美女视频网| 久久久久久久久久久久久9999| 欧美三区在线观看| 亚洲国产视频一区二区| 欧美在线免费| 午夜在线一区二区| 欧美日韩理论| 亚洲国产精品成人一区二区 | 亚洲综合色网站| 一本综合久久| 欧美成人在线网站| 加勒比av一区二区| 午夜精品久久久久久久白皮肤 | 亚洲视频久久| 欧美国产成人精品| …久久精品99久久香蕉国产| 久久精品99| 久久久久欧美精品| 国产欧美日韩精品丝袜高跟鞋| 亚洲视频中文| 亚洲一区日韩| 欧美午夜在线视频| 在线欧美日韩国产| 久久久www免费人成黑人精品 | 日韩特黄影片| 日韩手机在线导航| 欧美黄色aaaa| 亚洲激情偷拍| 日韩一二三在线视频播| 欧美激情在线免费观看| 亚洲人成网站在线观看播放| 亚洲美女电影在线| 欧美巨乳在线| 日韩视频免费观看高清在线视频| 99视频+国产日韩欧美| 欧美日本中文字幕| 夜夜夜久久久| 亚洲欧美变态国产另类| 国产精品入口尤物| 亚洲欧美在线网| 久久福利电影| 狠狠色丁香久久婷婷综合丁香| 久久精品人人做人人综合| 蜜桃av久久久亚洲精品| 亚洲国产午夜| 亚洲五月六月| 国产精品欧美久久| 欧美在线短视频| 免费中文字幕日韩欧美| 亚洲高清在线播放| 一本大道久久a久久精品综合| 欧美视频二区| 亚洲欧美大片| 久久久亚洲国产美女国产盗摄| 在线不卡a资源高清| 99ri日韩精品视频| 国产精品久久夜| 欧美一区二区视频在线观看| 久热re这里精品视频在线6| 亚洲欧洲精品一区二区精品久久久| 一区二区成人精品| 国产精品拍天天在线| 欧美中文日韩| 欧美韩国一区| 亚洲婷婷综合色高清在线| 久久精品国产亚洲5555| 亚洲国产日韩欧美在线图片| 在线视频欧美日韩| 国产欧美综合一区二区三区| 亚洲国产精品123| 欧美日韩在线观看视频| 亚洲欧美日本国产有色| 裸体素人女欧美日韩| 夜夜嗨av一区二区三区| 久久久精品五月天| 国产精品久久一区二区三区| 永久91嫩草亚洲精品人人| 中文欧美在线视频| 国产午夜亚洲精品不卡| 亚洲精品免费在线播放| 国产精品一区二区久久国产| 亚洲国产高潮在线观看| 欧美丝袜第一区| 久久精品国产一区二区电影 | 欧美欧美全黄| 亚洲欧美福利一区二区| 欧美国产精品一区| 亚洲欧美日韩人成在线播放| 欧美大片在线看| 午夜亚洲影视| 欧美精品系列| 久久成人免费电影| 欧美性色综合| 亚洲片在线观看| 国产精品一卡二卡| 亚洲精品综合| 国产一区日韩一区| 亚洲一级在线观看| 亚洲高清中文字幕| 欧美影院精品一区| 夜夜爽av福利精品导航| 老司机精品视频网站| 亚洲综合国产精品| 欧美日韩免费高清| 亚洲国产视频直播| 国产精品制服诱惑| 正在播放亚洲| 在线观看欧美成人| 久久久久一区二区三区四区| 正在播放日韩| 欧美日韩精品一区二区三区四区|