12月24日晚間，國產半導體設備廠商華海清科發布公告稱，公司及上海分公司擬合計使用自有資金不超過10.045億元，收購參股子公司芯崳半導體（上海）有限公司（以下簡稱“芯崳半導體”）剩余82%的股權。交易完成后，芯崳半導體將成為華海清科全資子公司。

公告顯示，芯崳半導體主要從事集成電路離子注入機的研發、生產和銷售，目前實現商業化的主要產品為低能大束流離子注入設備，相關產品已發往客戶端驗證。芯崳公司核心技術團隊專注于離子注入行業 30 多年，具有豐富的離子注入行業經驗，在長期研發過程中不斷積累了產品設計及工藝性能的核心參數，并對設備核心模塊離子束流系統的傳輸路徑進行了升級改進，使得芯崳半導體目前的產品較同類競品的晶圓顆粒污染控制效果、晶圓的裝載效率更優，且設備零部件的國產化率更高。

截至審計基準日（2024 年 5 月 31 日），芯崳半導體已發出的離子注入設備尚在客戶驗證過程中，尚未形成收入。截至本報告披露日，芯崳公司已有部分機臺實現驗收。2023年及2024年1—5月，芯崳半導體實現歸屬凈利潤分別約為-2442.08萬元、-1516.68萬元。經交易雙方協商確定，芯崳半導體 100%股權的整體價格定為 122,500 萬元。

從股權結構上來看，上海凱城半導體科技合伙企業（有限合伙）為芯崳半導體控股股東，CHEN WEI及 CHEN JIONG 為芯崳半導體的共同實際控制人。

根據公告顯示，離子注入設備涉及高壓電子、機械、電氣、計算機控制、等離子體物理等基礎科學，理論門檻高，系統集成難度大。根據 SEMI 數據，在全球及國內市場中，超過九成的設備仍由美國應用材料公司、美國亞舍立公司供應，市場集中度較高。目前，根據公開信息，國內開展離子注入設備研發和生產的公司包括芯崳半導體、北京爍科中科信電子裝備有限公司、上海凱世通半導體股份有限公司和青島四方思銳智能技術有限公司等。

近年來，中國集成電路產業規模迅速增長。根據SEMI數據，2025年全球12英寸晶圓廠設備資本支出強度預計提升，有望達到1165億美元，同比增長20%；且2026年有望達到1305億美元。中國市場2022年、2023年半導體設備市場規模分別達到282.7億美元、356.97億美元，增速明顯高于全球。

作為收購方，華海清科是一家擁有核心自主知識產權的高端半導體裝備供應商，開發出了CMP裝備、減薄裝備、劃切裝備、濕法裝備、晶圓再生、關鍵耗材與維保服務等，初步實現了“裝備+服務”的平臺化戰略布局。今年前三季度公司實現營業收入24.52億元，同比增長33.22%；歸母凈利潤7.21億元，同比增長27.8%。

華海清科表示，芯崳半導體目前尚處于虧損狀態，并且預計未來短期內仍將持續虧損，本次收購完成后公司也將加大此類業務的研發投入，以實現離子注入設備的持續迭代升級和新產品開發，同時公司本次采用現金方式支付轉讓對價，公司股本規模不因本次收購交易發生變化，因此，本次收購完成后，公司原有業務的每股收益將被新增業務板塊攤薄。

值得一提的是，芯崳半導體的共同實際控制人CHEN JIONG也曾是另一家離子注入設備公司——上海凱世通半導體（以下簡稱“凱世通”）的創始人。CHEN JIONG于2009年在浦東張江成立了上海凱世通半導體，隨后逐步開發出應用于太陽能、集成電路和AMOLED領域的離子注入機產品。

2018年，萬業企業發布公告稱，宣布以9.7億元的估值收購凱世通。不過由于2018年國際宏觀經濟形勢發生變化，國內光伏新政出臺后，國內光伏企業都受到了影響。而作為光伏產業上游設備供應商，凱世通經營狀況也不可避免的受到了影響。因此，在2018年年底，萬業企業宣布，經各方協商一致，同意調整公司對凱世通的收購方案，將收購標的凱世通整體估值由9.7億元降至3.98億元，同時，擬取消原有的業績對賭協議。

令人意外的是，CHEN JIONG在將凱世通賣給上市公司萬業企業之后（萬業企業于2018 年7月16日宣布收購凱世通100%股權），僅一個月之后的2018年8月16日就創立了同樣研發離子注入設備的芯崳半導體，現在又把芯崳半導體給賣給了上市公司華海清科。確實厲害！