| 基于FPGA的晶圓級芯片封裝圖像序列配準方法的設計與實現* | |
| 所屬分類：技術論文 | |
| 上傳者：wwei | |
| 文檔大小：4675 K | |
| 標簽： 晶圓級芯片封裝 圖像配準 FPGA | |
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| 文檔介紹：針對未切割晶圓進行封裝后的晶圓級芯片封裝（WLCSP），12英寸晶圓以1 μm物理分辨率進行自動光學檢測（AOI）面臨大幅面、高質量成像和成像速度的技術挑戰。晶圓全局圖像需由多幅掃描生成的局部圖像序列拼接而成，為實現圖像序列的高質量、高速配準，在FPGA中采用OpenCL實現相位相關法進行四鄰域棋盤配準。首先在構建二維FFT和互功率譜函數內核的基礎上，采用雙端口緩存和行緩存的設備全局內存對計算過程的頻譜數據進行復用并應用內核通道級聯提高配準速度，基于最小生成樹優化配準結果降低全局圖像坐標計算的累積誤差，并經實際掃描圖像驗證配準算法及加速性能。 | |
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