| MEMS熱式氣體流量傳感器設計 | |
| 所屬分類：技術論文 | |
| 上傳者：wwei | |
| 文檔大小：4043 K | |
| 標簽： 流量檢測 COMSOL仿真 熱式流量傳感器 | |
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| 文檔介紹：在工業生產過程中提供準確的流量檢測信息對于系統性能的提升有著重要的作用，基于MEMS技術制造出的熱式流量傳感器通過采集溫差變化來反映管道內流量變化，具有體積小、精度高、微流量段靈敏的特點。介紹了熱式流量傳感器的熱分布模型，利用COMSOL Multiphysics軟件對管道內的流量傳感器進行電場、流場和熱場的耦合仿真，確定傳感器芯片的關鍵參數。采用MEMS加工工藝制造流量傳感器芯片，搭建標定測試平臺，對傳感器芯片進行封裝測試。傳感器測量范圍達到300 SLM，數字輸出準確度等級達到1.0，模擬輸出準確度等級達到1.5。 | |
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